판매용 중고 MACTRONIX Eureka UKA-650 #43947
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MACTRONIX Eureka UKA-650은 반도체 웨이퍼의 높은 처리량 생산을 위해 설계된 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 이 기계는 8, "12" 및 18 "웨이퍼를 포함하여 매우 광범위한 웨이퍼 유형을 처리 할 수 있습니다. 또한 처리율이 높아 초당 최대 4 개의 웨이퍼를 자동으로 처리 할 수 있습니다. 장비는 두 가지 주요 섹션 (상단 및 하단 섹션) 으로 구성됩니다. 상단 (upper) 섹션은 시스템에 대한 웨이퍼 입력을 담당하는 반면, 하단 (lower) 섹션은 웨이퍼 출력을 담당합니다. 위쪽 섹션에는 프로세싱 전에 웨이퍼가 배치되는 로봇 제어 기판 테이블이 있습니다. 그런 다음 "로봇 '은" 웨이퍼' 를 집어 올려 "와퍼 '를 아래 부분 까지 움직 이는 리프트' 메커니즘 에 놓는다. 아래 섹션에는 일련의 스태커 (stacker) 가 포함되어 있으며, 프로세싱되거나 완료되지 않은 웨이퍼를 저장할 책임이 있습니다. 이 장치 는 매우 정확 하고 정확 하여, 가장 얇은 "웨이퍼 '까지도 처리 할 수 있다. 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기와 형태에 걸쳐 안정적이고 일관된 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 기계 에는 품질 과 결함 에 대한 "웨이퍼 '를 검사 할 수 있는" 비전' 도구 가 통합 되어 있다. 또한, 에셋에는 오류 또는 장비 오작동에 대해 운영자에게 경고하는 경고 (alarm) 모델이 내장되어 있습니다. UKA-650 (UKA-650) 은 또한 모듈 식이며 다양한 제조 요구에 맞게 사용자 정의 할 수 있습니다. Wafer 는 Wafer 를 사전에 정렬하고 검사할 수 있으며, Wafer Processing Task 를 처리할 수도 있습니다. 또한 전체 소프트웨어 제어 옵션 (Software Control Options) 이 장착되어 있어 사용자의 요구에 가장 적합한 프로세스 매개변수 (Process Parameter) 를 사용자 정의할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 또한 복잡한 시퀀스의 프로그래밍을 허용하며, API 또는 자동화 장치 (automation unit) 를 통해 다른 시스템과 통합 될 수 있습니다. 유레카 UKA-650 (Eureka UKA-650) 은 고도로 처리량이 많은 웨이퍼 생산에 적합한 다양한 기능을 제공하는 고급적이고 안정적인 웨이퍼 핸들러입니다. 고급 자동화 (Automation) 및 소프트웨어 제어 (Software Control) 옵션과 함께 높은 정확성과 반복성을 제공하므로 복잡한 웨이퍼 처리 요구에 적합합니다. 또한 모듈식 설계를 통해 기계를 빠르게 설치하고 쉽게 유지 관리할 수 있습니다.
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