판매용 중고 MACTRONIX Eureka 450 #9124006

ID: 9124006
E-Bar wafer transfer systems.
MACTRONIX Eureka 450은 유연한 자동화 기능으로 최대 450mm 직경과 0.1mm 두께의 기판을 효율적으로 처리하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 핸들러입니다. 이 모델에는 다양한 기판 처리 기능을 허용하는 2 세트의 서보 구동 모터 (servo-driven motor) 로 구성된 정밀 동작 장비가 장착되어 있습니다. 높은 정확도와 반복 가능한 성능을 얻기 위해 모터는 고급 디지털 서보 컨투어 (advanced digital servo contouring) 에 의해 제어되는 단일 시스템으로 동기화됩니다. 이 정교한 동작 단위는 X-Y-Z 축에 기판을 배치하고 위치 오프셋을 보정할 수도 있습니다. 유레카 450 (Eureka 450) 에는 통합 선형 변속기 및 자동 초점 스캐너, 다중 위치 중기판 테이블 및 모듈 식 웨이퍼 정렬기를 포함한 여러 가지 고유 한 기능이 장착되어 있습니다. 내장 선형 변속기는 기판의 정확하고 빠른 라우팅을 가능하게합니다. 자동 초점 스캐너 (auto-focus scanner) 는 기판의 위치에 따라 렌즈 포커스를 조정하고 기계가 기판의 이미지를 신속하게 캡처할 수 있도록 합니다. 다중 위치 중기판 테이블은 최대 20kg의 무게를 지원할 수 있으며, 한 번에 9 인치 웨이퍼를 운반 할 수 있습니다. 마지막으로, 모듈 식 웨이퍼 정렬기에는 다양한 기판 크기 사이를 빠르게 정렬하는 인덱싱 메커니즘이 내장되어 있습니다. MACTRONIX Eureka 450에는 웨이퍼 처리가 쉽고 빨라지는 여러 자동 기능도 있습니다. 예를 들어, 핸들러 (handler) 는 기판 잘못 정렬을 자동으로 감지하고, 간격 (gap) 및 높이 정보를 측정하여 스크래치 또는 결함을 감지할 수 있습니다. 이 모델에는 사양 외 (out-of-spec) 기판을 자동으로 검색하고 거부하는 기능도 있습니다. 또한 유레카 450 (Eureka 450) 은 진공 채널 및 게이트 밸브 이벤트 (예: 전송을 위해 적재 된 기판 준비) 에 대한 자동화를 제공하여 복잡한 수동 작업을 줄일 수 있습니다. MACTRONIX Eureka 450은 광범위한 정밀 기판 처리 작업을 수행 할 수있는 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 정밀 동작 도구 및 추가 자동 기능으로 인해 Eureka 450은 모든 공장 바닥에서 훌륭한 선택이되었습니다.
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