판매용 중고 MACTRONIX BBS-413 #9165924

MACTRONIX BBS-413
ID: 9165924
웨이퍼 크기: 4"
Wafer transfer system, 4".
MACTRONIX BBS-413은 R&D 및 생산 시설에 사용하도록 설계된 완전 자동화 웨이퍼 핸들러입니다. 마스크, 기판 및 기타 비표준 웨이퍼 크기뿐만 아니라 4 인치 및 8 인치 반도체 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. BBS-413 은 효율적인 진공 기반 웨이퍼 처리를 활용하여 핸들러와 웨이퍼 (wafer) 표면 사이에 직접 접촉하지 않고 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 배치를 보장합니다. 한 번에 최대 92 개의 4 인치 또는 48 개의 8 인치 웨이퍼를 적재 및 언로드 할 수있는 Edge-In 트레이 매거진이 장착되어 있습니다. 진공 척 (Vacuum Chuck) 은 검사, 웨이퍼 로딩, 언로드 및 온도 전송 단계에서 반도체 웨이퍼를 안전하고 정확하게 보관합니다. MACTRONIX BBS-413은 또한 자동 웨이퍼 회전 및 웨이퍼 제거 (웨이퍼 클리닝이라고도 함) 를 수행하여 고급 생산에 클린 웨이퍼 만 사용할 수 있습니다. 또한 4 인치 및 8 인치 웨이퍼의 차동 열 확장을 보상 할 수 있습니다. BBS-413 은 우수한 온도 조절 시스템 (Temperature Control System) 을 갖추고 있어, 사용자에게 핸들러 (Handler) 와 환경 (Environment) 의 각기 다른 온도 수준을 설정할 수 있고, 난방기가 와퍼를 예열하여 온도가 빠르고 효율적으로 요구됩니다. MACTRONIX BBS-413 (MACTRONIX BBS-413) 에는 핸들러의 변경 매개변수를 추적하는 실시간 자동 교정 (auto-calibration) 및 정적 방지 모니터링 (anti-static monitor) 옵션이 장착되어 있어 웨이퍼 처리 중에 사용자가 제어 상태를 유지할 수 있습니다. 안전 연결 기능 (Safety Interlock Feature) 은 핸들러가 작동 중일 때 예기치 않게 열리지 않도록 합니다. BBS-413 은 자동화 시스템 (Automation System) 과 쉽고 직관적인 방식으로 통합이 가능하므로 생산 및 연구 시설에서 Wafer 를 자동으로 처리할 수 있는 완벽한 솔루션입니다.
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