판매용 중고 LG PRI Wafer transfer system #293662060

LG PRI Wafer transfer system
ID: 293662060
웨이퍼 크기: 18"
빈티지: 2014
18" 2014 vintage.
LG PRI 웨이퍼 (PRI Wafer) 전송 장비는 반도체 장치 어셈블리에서 효율적인 고품질 웨이퍼 전송을 제공하도록 설계된 정교한 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 이 혁신적인 시스템은 고급 로봇 공학과 통합 비전 유닛 (Integrated Vision Unit) 을 활용하여 정확한 웨이퍼 이동과 포지셔닝을 보장합니다. 이 기계는 웨이퍼 캐리어, 로봇, 다중 축, 다중 단계 동작 공구와 같은 여러 기계화 된 컴포넌트로 구성됩니다. 각 구성 요소는 함께 작동하여 웨이퍼 전송 (wafer transfer) 프로세스에서 가장 정확성과 반복성을 제공합니다. 웨이퍼 캐리어 (wafer carrier) 는 잠재적 인 손상을 최소화하기 위해 극심한 주의로 웨이퍼를 보유 및 운송하도록 설계되었으며, 다양한 웨이퍼 유형을 지원하기 위해 특수 취급 메커니즘이 장착되어 있습니다. 이 반송파는 진동 감쇠재 (vbration dampening materials) 와 균형 잡힌 무게 분포 (balanced weight distribution) 를 사용하여 이동 과정에서 웨이퍼가 안정되고 안전한지 확인합니다. 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 에는 정확하고 정확한 모션 컨트롤을 제공하는 고속 로봇 암이 장착되어 있습니다. 로봇 암 (robot arm) 은 선형 전동 액추에이터에 의해 구동되며, 자산 내에서 웨이퍼를 정확하고 빠르게 이동하여 사이클 시간을 줄이고 처리량을 증가시키도록 설계되었습니다. 다중 축, 다중 단계 모션 모델은 로봇 암 (robot arm) 에 연결되어 웨이퍼 (wafer) 전송 프로세스에 대한 추가 제어 수준을 제공합니다. 이 동작 장비는 고정밀 서보 모터에 의해 구동되며, 정확한 좌표 제어 및 공구 특정 동작 경로를 특징으로합니다. 이렇게 하면 기계가 웨이퍼 배치, 위치 및 치수를 정확하게 설명 할 수 있습니다. 마지막으로, 최적의 정밀도를 보장하기 위해 시스템은 고급 옵티컬 센서 (Optical Sensor) 를 사용하는 내장형 비전 장치 (Integrated Vision Unit) 와 쌍을 이룹니다. 이 비전 머신 (vision machine) 은 결함이 있는 웨이퍼 부품을 거부하면서 웨이퍼 배치 및 이동을 정확하게 감지하고 추적하도록 설계되었습니다. 이러한 비전과 모션 시스템 조합은 전반적인 시스템 정확성과 신뢰성을 크게 향상시킵니다. 전반적으로, 웨이퍼 전송 도구 (Wafer transfer tool) 는 최소한의 주기 시간으로 정확하고 안정적인 웨이퍼 전송을 제공하도록 설계된 포괄적인 자동 웨이퍼 처리 솔루션입니다. 자산의 고급 로봇 공학, 다중 축 동작, 광학 비전 (optical vision) 의 조합은 모든 웨이퍼 처리 응용 프로그램에 대해 안정적이고 정확한 프로세스를 보장합니다.
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