판매용 중고 LEVITECH Levitor 5000 #293625727

ID: 293625727
웨이퍼 크기: 12"
EFEM Wafer sorter, 12" (3) Load ports.
LEVITECH Levitor 5000은 반도체 제조 응용 분야를위한 최첨단 웨이퍼 핸들러입니다. 최첨단 칩 제작 프로젝트에서도 탁월한 처리 성능과 안정성을 제공합니다 (영문). 5000 모델은 높은 정밀도의 선형 모터 스테이지 (linear motor stage) 및 탁월한 성능을 위한 고급 자동화 기능을 갖추고 있습니다. 강력한 고지위 해상도의 선형 모터 스테이지는 뛰어난 처리 능력과 정확성을 제공합니다. 백래시와 드리프트가 0인 X, Y 및 Z 축을 따라 부드럽고 진동 및 충격이없는 동작을 제공합니다. 이 스테이지에는 마찰이없는 다이렉트 드라이브 (direct drive) 메커니즘과 신뢰할 수있는 모션 제어를 위한 내구성 있는 서보 모터가 장착되어 있습니다. 또한 5000 모델에는 빠르고 정확한 동작 제어를 위해 간단하고 사용하기 쉬운 HMI (Human Machine Interface) 를 갖춘 지능형 제어 시스템이 포함되어 있습니다. 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 웨이퍼 처리 프로세스를 빠르고 쉽게 제어할 수 있습니다. 또한 Levitor 5000 은 다양한 네트워킹 및 통신 기능을 통해 다른 디바이스 및 시스템과 상호 작용할 수 있습니다. KUB 유형 이더넷 연결은 쉽게 통합할 수 있는 Profinet 및 Modbus TCP/IP, 고속 직접 연결을 위한 USB 포트 등 모든 주요 산업 프로토콜을 지원합니다. LEVITECH Levitor 5000의 고급, 마이크로프로세서 기반 제어 시스템은 안정성과 견고성을 위한 다양한 안전 기능을 제공합니다. 이 시스템은 이동 범위 검사, 위치 및 속도 모니터링, 충격 방지, 소프트 랜딩 (soft-landing) 및 인코더 장애 모니터링을 통해 오류를 방지하고 최고의 정확성과 반복 가능성을 보장합니다. 레비터 5000 (Levitor 5000) 은 가장 복잡한 칩 제작 프로세스에서 탁월한 성능과 신뢰성을 갖춘 뛰어난 웨이퍼 처리 서비스를 제공하도록 설계되었습니다. 고급 자동화 기능, 유연한 네트워킹 옵션, 강력한 안전 (Safety) 기능을 갖춘 5000 모델은 고급 반도체 어플리케이션을 위한 이상적인 선택입니다.
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