판매용 중고 KUKA KR350 #9000716

KUKA KR350은 반도체 및 미세 전기 기계 시스템 (MEMS) 제조 산업에 사용되는 웨이퍼 핸들러입니다. KR350은 대용량 웨이퍼 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 다축 로봇입니다. 세로형 디자인 (Vertical design) 이 특징이며, 칩을 빠르고 정확하게 이동할 수 있으며, 초소형 설치 공간으로, 단단하고 제한된 작동 공간에 적합합니다. KUKA KR350에는 2 차원 평면에서 칩을 움직이는 1 차 z축 및 2 차 x축, 작동 중 웨이퍼를 기울이는 3 차 y축 등 3 개의 축이 있습니다. 컴팩트 바디 (compact body) 프레임과 최고 정밀도를 보장하는 고급 제어 시스템이 특징입니다. KR350은 초당 1.5 미터의 전체 z축 속도로 다양한 속도를 제공합니다. 이를 통해 초당 120 만 마이크로 위치 동작의 최대 단일 축 처리량을 허용합니다. 강력한 작동을 위해 KUKA KR350에는 모든 주요 웨이퍼 이동 (wafer-moving) 작업을 모니터링하기 위한 다양한 센서가 장착되어 있습니다. 또한 통합 안전 연동 시스템 (Safety Interlock System) 과 속도 제어 모드 (Speed Control Mode) 를 포함하여 정확도를 향상시킵니다. KR350 은 또한 향상된 웨이퍼 레벨 탐색 제어 시스템 (navigational control system) 을 통해 칩의 정확하고 정확한 처리, 운영자 편의를 위한 그래픽 사용자 인터페이스 (graphical user interface) 를 제공합니다. KUKA KR350 (KUKA KR350) 은 안정적인 성능을 위해 제작되었으며, 최대 20 나노 미터의 반복성으로 주기를 수행 할 수 있습니다. 총 무게가 약 15kg (조작 장치 및 프레임 포함) 인 일련의 고정 부품이 특징입니다. 즉, 기존 운영 라인에 빠르고 쉽게 통합할 수 있습니다. 또한 KR350 은 높은 수준의 유연성을 제공하여 여러 애플리케이션과 작업에 사용할 수 있습니다. 전체적으로 KUKA KR350은 안정적이고 정확한 웨이퍼 핸들러로, 반도체 또는 MEMS 제조 산업에 적합합니다. 빠른 속도, 낮은 주기 시간, 높은 정밀도를 자랑하는 이 솔루션은 TB (Tight and Limited Production) 환경을 위한 완벽한 솔루션입니다.