판매용 중고 KUKA KR125L #9000712
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KUKA KR125L (KUKA KR125L) 은 용광로, 청소기 등 도구의 웨이퍼 로드 및 언로드를 단순화하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 자동 로드 (Automated Loading) 및 언로드 캐리지 (Unloading Carriage) 를 통해 두 개의 서로 다른 도구 간에 웨이퍼를 안전하게 전송할 수 있습니다. KR125L에는 6 열의 슬롯이있는 스테인레스 스틸 패널 (수평 또는 수직) 이 있습니다. 로봇 암에는 4 개의 다른 웨이퍼 캐리어 (wafer carrier) 가 장착되어 있으며, 각 웨이퍼는 회전 목마 당 한 번에 하나의 웨이퍼를 옮길 수 있습니다. 이 캐리어는 컴퓨터 구동 시퀀스에 배치되어 공압 적으로 작동하여 잠재적 인 웨이퍼 (wafer) 진동 또는 손상을 제거합니다. 로봇 암은 또한 18 개의 독립 센서와 2 개의 레이저 다이오드가있는 내장 비전 시스템 (vision system) 을 갖추고 있으며, 이 시스템은 웨이퍼와 로드 및 언로드 전에 도구의 위치를 정확하게 감지합니다. KUKA KR125L 웨이퍼 핸들러에는 트랜 테스트 (TranTest) 소프트웨어가 장착 된 터치 스크린 제어판 (touchscreen control panel) 이 장착되어 있으며, 이를 통해 운영자는 로봇의 매개변수와 실행 조건을 모니터링하고 수정할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 사용자는 로봇 (robot) 의 상태를 확인 또는 설정할 수 있으며, 진단 그래프 (diagnostic graphs) 를 통해 로봇 성능을 모니터링 및 디버깅하고, 웨이퍼의 위치와 상태를 제어할 수 있습니다. KR125L에는 웨이퍼 (wafer) 이동에 대한 내성을 제공하는 기계식 피드백 시스템 (mechanical feedback system) 이 장착되어 있어 난기류 및 고속 이동시 웨이퍼의 안정성이 향상됩니다. "웨이퍼 '를 안전 하고 안전 하게 처리 하기 위하여" KUKA KR125L' 에는 기계 충돌 을 피하고 "웨이퍼 '를 손상 시키는 데 필요 한 제한" 스위치', 범프 '탐지기 및 경비등 이 설치 되어 있다. 안전 가드 인코더 (Safe Guard Encoder) 를 통해, 로봇은 캐리지가 가드 윈도우에 접근하면 갑자기 속도가 변경되는 것을 감지하고, 속도가 느려지며, 결국 갑작스런 변경이 특정 임계값을 초과하면 동작을 중지합니다. KR125L 웨이퍼 핸들러는 업계 최고 표준을 준수하며 제조 및 안전 기능에 대한 ISO 9001 표준을 준수합니다. 모듈식 설계는 탁월한 서비스 용이성을 제공하며, 기존 장비와의 통합을 위한 대체 옵션을 제공합니다. 또한, 공간이 제한된 애플리케이션에 이상적인 작은 설치 공간이 있습니다. KUKA KR125L 웨이퍼 핸들러는 정확하고 안전한 웨이퍼 로딩 및 언로드를 제공하도록 설계된 신뢰할 수있는 로봇입니다.
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