판매용 중고 KOBELCO / LEO LRW #293642528
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KOBELCO/LEO LRW는 다양한 반도체 웨이퍼를 운송, 추적 및 테스트하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 기존 반도체 제작 프로세스와 손쉽게 통합되는 완전 자동화 (Fully Automated) 솔루션입니다. LEO LRW에는 고정밀 계량 및 처리 장비가 포함되어 있으며, 이는 +/- 0.3 mg까지 정확하며, 다양한 크기와 무게로 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 이 시스템은 최대 254 개의 웨이퍼 (wafer) 의 배치 크기와 대용량/하이믹스 (high-mix) 생산 실행의 고밀도 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. 웨이퍼 핸들러는 또한 최대 처리 속도가 70mm/초 인 고속 로봇 장치를 갖추고 있습니다. 이 기계는 유지보수 비용을 최소화하면서 생산성을 극대화할 수 있도록 설계되었으며, 레이저 센서 (laser sensor) 를 장착하여 정확하고 반복 가능한 작동을 보장합니다. 코벨코 LRW (KOBELCO LRW) 는 인력과 장비 모두 안전성을 보장하는 다양한 안전 기능을 갖추고 있다. 여기에는 웨이퍼에 대한 잠재적 손상을 감지하기위한 2 개의 개별 제한 스위치, 웨이퍼 파손 위험을 줄이기 위한 이중 존 (Zone) 버퍼 존 (Buffer Zone) 이 포함됩니다. LRW 는 웨이퍼 처리 외에도 정확도 테스트 및 품질 관리 검사를 수행할 수 있습니다. 반사율 (Reflectance), 처리율 (Throughput rate) 및 기타 매개변수와 같은 다양한 웨이퍼 특성을 측정할 수 있습니다. 이를 통해 고품질 웨이퍼를 생산하고 제조 공정을 더 잘 제어할 수 있습니다. KOBELCO/LEO LRW (KOBELCO/LEO LRW) 에는 웹 브라우저를 사용하여 모든 원격 위치에서 프로세스 상태를 모니터링하는 데 사용할 수 있는 온라인 모니터링 툴 (Online Monitoring Tool) 도 포함되어 있으며, 오류 발생 시 운영자에게 경보를 보낼 수 있는 원격 경보 에셋이 장착되어 있습니다. 전반적으로, LEO LRW는 반도체 산업의 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급적이고 효율성이 높은 모델입니다. 무게/처리 시스템, 로봇, 품질 테스트, 원격 모니터링 기능 등 다양한 기능을 갖춘 이 Wafer (Wafer) 핸들러는 모든 처리 요구 사항을 정확하고 정확하게 처리할 수 있습니다.
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