판매용 중고 KMR MR220 #9392924
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KMR MR220은 산업 응용 분야에 사용되는 웨이퍼 핸들러입니다. 제조 공정에 사용되는 섬세한 반도체 웨이퍼를 수용하도록 설계되었습니다. 이 기구 는 먼지 와 오염 물질 이 "시스템 '에 침투 하는 것 을 방지 하여" 웨이퍼' 의 환경 을 안정화 시키는 공기 밀착 장치 를 사용 한다. 이 장치는 또한 온도와 습도 수준을 유지하여 웨이퍼의 무결성 (integrity of the wafer) 을 최적화함으로써 웨이퍼의 수명을 연장합니다. 이 장치에는 간편하고 효율적인 사용자 인터페이스 (user interface) 가 있어 쉽게 제어하고 작동할 수 있습니다. 이 장치는 캐스터에 장착되어 있으며 간편한 기동성을 위해 소형 (compact) 크기를 제공합니다. MR220 (Wide Body Design) 의 MR220 (Wide Body Design) 은 대형 웨이퍼에 대한 최대 클리어런스를 생성하며 사용자는 장치 내에 최대 22 개의 웨이퍼 카세트를 저장할 수 있습니다. 이 기계는 정밀 속도 및 토크 제어를 보장하는 ESS 가변 주파수 드라이브 (ESS Variable Frequency Drive) 로 구동되어 원활한 작동과 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. KMR MR220은 압력 모니터링 장치 (Pressure Monitoring Unit), 경보기 (Alarm Machine) 및 자가 닫기 도어 (Self-Closing Door) 를 포함한 여러 가지 내장 안전 기능을 갖추고 있습니다. 또한 2 개의 외부 포트가 포함되어 있어 시스템을 외부 장치에 연결할 수 있습니다. 이 장치의 내부는 LED 조명 (LED lighting) 으로 조명되어 운송 중 웨이퍼를 쉽게 관찰 할 수 있습니다. 기계 에는 필요 할 때, 먼지 와 입자 를 단위 에서 제거 하는 진공 도구 도 포함 된다. MR220에는 웨이퍼를 처리하는 동안 오염 물질이 기계에 들어가는 것을 방지하는 고효율 공기 필터 에셋 (air filter asset) 이 장착되어 있습니다. 필터 모델의 설계는 오염으로 인한 웨이퍼 손상 가능성을 최소화합니다. 이 장치는 또한 빠른 핸들러 (fast handler) 와 다중 헤드 (multiple head) 의 구현으로 인해 빠른 웨이퍼 교환 기능을 제공합니다. KMR MR220은 유지 관리 및 빠른 프로세스 설정을 위해 설계된 여러 가지 기능을 제공합니다. 이 장치에는 서보 (servo) 장비가 포함되어 있어 즉석에서 빠른 교정 및 조정이 가능합니다. 이 장치는 매우 자동화되어 있으며 완전히 무인 생산 실행이 가능합니다. 또한 문제가 발생할 때 신속하게 오류를 파악하고 알림을 보내는 자가 진단 (self-diagnostic) 시스템도 포함되어 있습니다. MR220 (MR220) 은 반도체 제조업의 안전성과 정확성에 대한 가장 엄격한 요구 사항을 충족하는 강력한 웨이퍼 핸들러입니다. 이 제품은 오늘날의 산업용 어플리케이션에 필요한 생산량, 정확도에 대해 안정적이고 정확한 성능을 제공하도록 설계되었습니다 (영문).
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