판매용 중고 KLA / TENCOR UltraScan 9000 #293660077

KLA / TENCOR UltraScan 9000
ID: 293660077
빈티지: 2004
Wafer metrology system 2004 vintage.
KLA/TENCOR UltraScan 9000은 최신 반도체 제조 공정을 위해 설계된 차세대 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장비는 와퍼 (wafer) 검사 및 분석을 위한 고성능 제품으로, 탁월한 처리량과 신뢰성을 제공합니다. 9000 은 완전 자동화된 고속 픽앤 플레이스 (High-Speed Pick and Place) 로봇 시스템을 활용하여 핸들러 헤드, SEMI 표준 매거진 로더, 프로세스 챔버 등 여러 부품 간에 웨이퍼를 신속하게 전송합니다. 이렇게 하면 처리 중에 웨이퍼가 손상되지 않습니다. 이 장치에는 고급 optic도 장착되어 있으며, 뛰어난 웨이퍼 이미징 솔루션을 제공합니다. 광학은 시간당 최대 1 천 개의 웨이퍼에서 이미지를 캡처 할 수 있으며, 정확한 웨이퍼 크기와 모양의 복잡한 이미지를 제공합니다. 또한, KLA UltraScan 9000은 웨이퍼 표면에서 오염 영역을 감지하는 다중 축 편광 기능을 가지고 있습니다. TENCOR UltraScan 9000 의 높은 정확성과 반복 성능은 예측 품질 분석 (Predictive Quality Analysis) 에서 장애 감지 (Fault Detection) 에 이르기까지 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 그것 은 "웨이퍼 '모양 의 결함, 심지어 작은 결함 까지도 감지 할 수 있으며, 몇" 미크론' 내 의 결함 을 정확 히 찾아낼 수 있다. 결함에서 패턴을 식별하기 위해 고유 한 패턴 인식 (pattern recognition) 알고리즘이 사용되어 정확하게 타겟팅 된 수리를 허용합니다. UltraScan 9000은 6, 8, 12 및 14 인치를 포함한 다양한 웨이퍼 크기에 사용하도록 설계되었습니다. 또한 향후 웨이퍼 (wafer) 크기 변경을 수용할 수 있도록 유연하게 설계되었습니다. 이 기계 는 "프로그램 '할 수 있는" 핫 플레이이트' 와 같은 여러 가지 다른 "액세서리 '를 이용 하여" 웨이퍼' 를 정확 히 온도 조절 할 수 있다. 또한, 이 툴에는 원격 모니터링 및 제어 에셋이 장착되어 있어 가동 시간과 효율성을 극대화할 수 있습니다. KLA/TENCOR UltraScan 9000은 업계에서 가장 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계되었으며 SEMI S2 자동화 표준 인증을 받았습니다. 이를 통해 모델은 안정적이고, 안전하며, 고품질이 보장됩니다. 이 장비는 또한 오염 제어에 대한 G 스캔 (G-scan) 및 최신 광학 정렬 기술을 포함하여 엄격한 안전 지침을 따릅니다. 전체적으로 KLA UltraScan 9000은 안정적이고 고품질의 결과를 제공하는 고급 자동 웨이퍼 처리 솔루션을 제공합니다. 유연성과 안전성 (Safety Features) 이 결합된 빠르고 정확한 성능으로, 반도체 제조 작업에 이상적인 선택입니다.
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