판매용 중고 KLA / TENCOR Single FOUP / FIM handler for SP1 #9255159

SP1용 KLA/TENCOR 단일 FOUP/FIM 핸들러는 반도체 웨이퍼를 운송 및 보관하도록 설계된 웨이퍼 처리 장비입니다. 깨끗하고 오염이 없는 환경에서 웨이퍼를 한 곳에서 다른 위치로 전송하는 데 사용됩니다. 핸들러에는 자동 FOUP (front opening unified pod) 또는 FIM (front-opening integrated module) 이 장착되어 있으며 KLA의 SP1 SmartSpectro photomask 검사 시스템에 사용하도록 특별히 설계되었습니다. 처리기는 기지국, 상단 운송 모듈 및 1 개 이상의 운송 캐리어로 구성됩니다. 기지국 은 단순 히 "핸들러 '를 배치 하는 기지 이며, 높이 에 맞게 조정 할 수 있다. 핸들러는 습식 벤치 또는 다른 표면에 장착 할 수도 있습니다. 상단 수송 모듈 (upper transport module) 은 웨이퍼를 기지국 안팎으로 들어올리는 데 사용됩니다. 유지 보수 또는 청소를 위해 제거할 수 있습니다. 전송 캐리어는 FOUP 에서 웨이퍼 (wafer) 를 삽입, 제거하는 데 사용되며, 한 위치에서 다른 위치로 이동하는 데 사용됩니다. 청소를 위해 캐리어를 제거 할 수도 있습니다. FOUP (Front Opening Unified Pod) 및 FIM (Front Opening Integrated Module) 은 웨이퍼를 안전하게 고정하고 오염으로부터 보호하도록 설계되었습니다. 그것 은 "웨이퍼 '가 먼지 및 기타 오염 물질 과 접촉 하지 못하게 하는 불활성 물질 로 만들어진다. FOUP (Integrated Mounting Unit) 는 웨이퍼를 보호하고 방향을 일관되게 유지하는 통합 장착 장치이며, FIM 은 최대 16 개의 웨이퍼를 지원하여 병렬로 처리 할 수 있도록 설계되었습니다. 처리기는 반복 가능하고 신뢰할 수있는 작동을 제공하도록 설계되었습니다. "스크래치 '와 오염 을 최소화 하는" 마찰기' 가 적고, 작동 중 에 인간 의 실수 의 위험 을 최소화 하도록 설계 되었다. 핸들러는 또한 FOUP 또는 FIM의 자동 교정 (automatic calibration) 과 안전하고 안전하게 픽업하고 웨이퍼를 배치하는 개폐식 진공 노즐을 특징으로합니다. 또한 FOUP 와 FIM 은 상호 교환이 가능하도록 설계되어 여러 Wafer 처리 작업을 빠르고 쉽게 전환할 수 있습니다. SP1용 KLA Single FOUP/FIM 핸들러는 안정적이고 강력한 웨이퍼 처리 툴로서, 효율성을 극대화하고 비용을 절감할 수 있도록 설계되었습니다. 그것 은 "반도체 '제조" 애플리케이션' 에 이상적 이며, 고급 기능 은 "웨이퍼 '가 안전 하고 신뢰 할 만한 방법 으로 운반 되도록 보장 해 준다.