판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX C2C #293646053

KLA/TENCOR/PROMETRIX C2C는 반도체 산업에서 웨이퍼 제작 프로세스를 용이하게하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 이 고급 로봇 (Advanced Robotic) 도구는 소형화된 설치 공간을 지원하며, 다양한 웨이퍼 크기와 유형을 처리할 수 있는 유연성과 확장성을 제공하는 모듈식 (Modular) 설계를 갖추고 있습니다. KLA C2C 는 정확한 프로세스 반복성, 향상된 처리량 등 반도체 제조의 주요 요구 사항을 충족할 수 있도록 설계되었습니다. TENCOR C2C 장비에는 로봇, 로봇 제어 시스템, 공정 헤드, 컨트롤러 및 공압과 같은 다양한 구성 요소가 포함됩니다. 로봇은 6 축, 다중 축 관절 로봇 암으로, 각 축은 브러시리스 (brushless) 서보 모터에 의해 구동되어 정확한 위치와 제어를 할 수 있습니다. 로봇 제어 장치 (Robot Control Unit) 는 여러 프로세싱 전원 컴퓨팅 및 제어 모듈로 구성되어 보다 뛰어난 제어 및 정확도를 제공합니다. 로봇 컨트롤러는 자동화된 작업에 대한 사용자 정의 알고리즘을 실행하여 보다 일관된 결과와 더 높은 처리량을 제공합니다. 프로세스 헤드에는 처리 시퀀스를 통해 개별 웨이퍼를 전송하기 위해 여러 개의 헤드가 포함됩니다. 정확도가 높은 공압 (Pneumatics) 은 프로세스 헤드의 정확하고 반복 가능한 동작을 보장하며 개별 웨이퍼의 반복 가능한 처리를 지원합니다. PROMETRIX C2C 웨이퍼 핸들러는 사용자에게 여러 가지 자동 기능 (automated features and function) 을 제공하도록 설계되었습니다. 여기에는 여러 개의 웨이퍼 (wafer) 를 한 번에 처리하고, 여러 개의 프로세스 헤드를 조합하여, 하나 또는 여러 개의 대상으로 웨이퍼 (wafer) 를 언로드 및 이동할 수 있는 기능이 포함됩니다. C2C는 또한 자동 인덱싱 기능을 통해 웨이퍼의 정확한 처리를 유지하는 한편, 열 충격, 먼지, 오염으로부터 보호합니다. 또한 KLA/TENCOR/PROMETRIX C2C 의 고효율 처리 프로세스뿐만 아니라, 전체 주기 동안 정확한 프로세스 반복 기능을 제공합니다. 이는 생산 생산량이 지속적으로 안정적이며, 따라서 비용 효율성 및 수익성을 유지하는 데 도움이됩니다. 또한, KLA C2C 의 사용자 지정 사용자 인터페이스는 자동화된 프로세스에 대한 사용자 지정 제어를 위한 다양한 프로세스 설정을 제공합니다. 이 포괄적인 소프트웨어 제품군을 사용하면 간단하고 복잡한 wafer 처리 요구 사항을 모두 충족할 수 있습니다. 또한 자동화된 프로세스 (automated process) 의 진행 상황을 추적하고 공구 성능에 대한 평가를 지원하는 포괄적인 시스템 모니터링 모듈 (Comprehensive Machine Monitoring Module) 을 제공합니다. 이 기능은 자산의 유지 관리 및 문제 해결 작업도 지원합니다. 전반적으로 TENCOR C2C 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 반도체 웨이퍼 제조 프로세스의 요구 사항을 충족하도록 설계된 고급 로봇 도구입니다. PROMETRIX C2C 는 정확하고 반복 가능한 프로세스 반복성과 높은 처리량을 제공하여, 효율적이고 경제적인 자동화 솔루션입니다.