판매용 중고 KLA / TENCOR Phoenix DC #9401091

ID: 9401091
빈티지: 2004
System 2004 vintage.
KLA/TENCOR Phoenix DC는 반도체 처리 응용 프로그램의 자동 웨이퍼 처리를 위해 설계된 고급, 모듈식 웨이퍼 자동화 핸들러입니다. 이 제품은 피닉스 (Phoenix) 제품군의 일부이며, 처리량에 대한 엄격한 요구 사항이 있는 애플리케이션에 도전하기 위해 특별히 설계되었습니다. KLA Phoenix DC는 고속, 유연한 작동 및 강력한 신뢰성을 제공하기 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 핸들러입니다. 유연한 시스템 아키텍처 (Flexible Machine Architecture) 를 통해 애플리케이션의 요구 사항에 맞게 구성을 사용자 정의할 수 있습니다. 기계의 모듈식 역학 (modular mechanics) 과 설계 (design) 를 통해 기계의 개별 요소에 대한 서비스 및 액세스를 용이하게 하며, 다운타임을 줄이고, 높은 성능을 보장합니다. TENCOR Phoenix DC는 모션 동기화 및 모션 중단을 활용하는 고급 모션 컨트롤 장비를 제공합니다. 이것은 통합 진동 격리 (Vibration Isolation) 지원 구조와 함께, 조용하고 일관된 운영 환경을 보장하여 일관성 있고, 정확하며, 높은 처리량을 제공하는 이상적인 플랫폼입니다. 피닉스 DC (Phoenix DC) 의 고속, 일관된 작동은 고급 웨이퍼 감지 및 전송 시스템으로 더욱 강화되어 완전하게 자동화된 웨이퍼 처리 프로세스가 가능합니다. 또한 통합 웨이퍼 조작 장치 (wafer manipulation unit) 를 제공하여 정확한 웨이퍼 조작 및 배치를 허용합니다. KLA/TENCOR Phoenix DC는 효율적이고 안전한 운영을 보장하는 다양한 안전 기능을 제공합니다. 고급 보안 시스템 (High Level Security Machine) 을 지원하여 컴퓨터의 하드웨어 및 소프트웨어 부품에 대한 무단 액세스를 방지합니다. 또한 기계의 작동을 모니터링하고 잠재적으로 위험한 발생으로부터 보호 할 수있는 다양한 첨단 센서 (high-tech sensor) 를 갖추고 있습니다. 또한 KLA 피닉스 DC (KLA Phoenix DC) 는 원격 진단 서비스 및 지원을 제공하며, 이 서비스를 통해 엔지니어는 원격 위치에서 시스템을 액세스할 수 있습니다. 따라서 모든 문제가 빠르고 쉽게 감지되고 해결됩니다. TENCOR Phoenix DC는 안정적이고, 효율적이며, 보안성이 뛰어난 웨이퍼 핸들러이며, 뛰어난 웨이퍼 처리가 필요한 어플리케이션에 적합합니다. 높은 처리량, 정확성, 안전한 작동이 필요한 애플리케이션에도 적합합니다.
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