판매용 중고 KLA / TENCOR Phoenix DA2 #9285836

KLA/TENCOR Phoenix DA2는 웨이퍼 제조 프로세스 자동화를 위해 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. KLA Phoenix DA2 장비는 전송 챔버, 샘플 챔버, 카세트 챔버, 사전 정렬 챔버, 미세 정렬 챔버, 2 개의 분할 챔버 및 최종 이펙터를 포함한 여러 구성 요소로 구성됩니다. 전사 챔버 (transfer chamber) 는 시스템의 다양한 챔버 사이에서 웨이퍼를 이동하는 데 사용되며, 샘플 챔버 (sample chamber) 는 샘플을 생성하는 데 사용되며 카세트 챔버 (cassette chamber) 는 처리된 웨이퍼를 저장하는 데 사용됩니다. 사전 정렬 챔버 (pre-alignment chamber) 는 이전 챔버 (transfer chamber) 에 들어가기 전에 웨이퍼를 검사하는 데 사용되며, 미세 정렬 챔버 (fine-alignment chamber) 는 웨이퍼를 더 정확하게 검사하는 데 사용됩니다. 2 개의 분할 챔버 (split chamber) 는 웨이퍼를 2 개의 개별 부품 또는 2 개의 반으로 분할하는 데 사용되며, 최종 이펙터는 웨이퍼를 로드 및 언로드하는 데 사용됩니다. TENCOR Phoenix DA2 장치에는 프로덕션 프로세스 전반에 걸쳐 Wafer 정렬 오류를 자동으로 감지하고 수정하는 기능이 있습니다. 스캐닝, 클리닝, 정렬, 배치, 프로브, 핀셋 등 다양한 작업을 수행할 수 있습니다. 이 기계 는 크기 와 두께 가 다양 한 "웨이퍼 '를 정확 하게 정렬 할 수 있도록 설계 되었으며, 여러 가지 일 을 위한" 툴링' 을 갖출 수 있다. 또한, Phoenix DA2 는 다양한 소프트웨어 패키지와 호환되며, 사용자의 특정 요구 사항에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. KLA/TENCOR Phoenix DA2 도구는 신뢰성이 높으며 낮은 소유 비용을 제공합니다. 처리량이 높고, 오염의 위험이 낮으며, 설치 공간이 다른 시스템에 비해 적습니다. 이 자산은 사용하기 쉽도록 설계되었으며, 사용자에게 친숙한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스), 수동 제어 지원, 다양한 프로그래밍 가능한 기능이 포함되어 있습니다. 또한 이 모델에는 자동 장애 감지 (automated fault detection) 및 복구 (recovery) 와 같은 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 전반적으로 KLA Phoenix DA2는 제조 프로세스 자동화를 위해 설계된 고급적이고 안정적인 웨이퍼 핸들러입니다. 이 제품은 처리량이 높고, TCO (총소유비용) 가 낮으며, 설치 공간이 다른 시스템에 비해 적어 다양한 구성 프로세스에 적합합니다. 또한, 장비에는 몇 가지 안전 (safety) 기능이 장착되어 있으며, 사용자의 특정 요구를 충족하기 위해 여러 가지 프로그래밍 가능한 기능이 있습니다.