판매용 중고 KLA / TENCOR Phoenix D 1.2 #9285868

KLA Phoenix D 1.2는 프런트엔드 반도체 처리를 위해 설계된 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. 피닉스 D 1.2 (Phoenix D 1.2) 는 광범위한 자동화 기능을 제공하여 웨이퍼 처리 (wafer handling) 의 모든 측면을 관리할 수있는 완전한 독립형 장비로 작동합니다. 실리콘, 크리스탈린 쿼츠, 실리콘 온 인슐레이터 (SOI) 와 같은 다양한 기질과 함께 작동하도록 설계되었습니다. 피닉스 D 1.2에는 웨이퍼 처리 중 안정성과 지원을 제공하도록 설계된 대형 프레임이 있습니다. 자동 퍽 전송 시스템 (Automated Puck Transport System) 은 운송 스테이션에서 스테이션으로의 웨이퍼 퍽의 효율적이고 정확한 이동을 제공합니다. 이 장치는 수동 처리 (manual handling) 로 인한 오염 위험을 최소화하고 운송 중 웨이퍼 위치의 정확성을 보장합니다. 또한 "와퍼 '를 저장" 포오드' 에서 처리 "스테이션 '으로 안전 하고 안전 하게 옮기는 데 도움 이 되는 통합 진공기 가 있다. 피닉스 D 1.2 (Phoenix D 1.2) 에는 고급 모션 제어 기능도 포함되어 있어 전송 중에 각 웨이퍼를 정확하게 회전하고 기울일 수 있습니다. 2 개의 진공 포드가 있으며, 포드당 최대 3 개의 웨이퍼, 초당 최대 8.3 인치의 속도로 빠르고 정확한 웨이퍼 처리가 가능합니다. 피닉스 D 1.2 (Phoenix D 1.2) 는 다양한 인터페이스를 지원하여 다른 웨이퍼 처리 시스템 및 계기와의 통신을 용이하게 합니다. USB 포트, RS-232 포트, 이더넷 포트, 아날로그 포트 등 외부 장치에 연결할 수 있는 몇 가지 입력/출력 포트가 있습니다. 피닉스 D 1.2 (Phoenix D 1.2) 에는 모션 제어, 온도 조절, 장치 간 통신 등 웨이퍼 처리 프로세스의 모든 측면을 제어하기위한 고급 소프트웨어도 포함되어 있습니다. Phoenix D 1.2는 웨이퍼 처리 시스템의 경우 SEMI E77, 공정 장비 인터페이스의 경우 SEMI C85를 포함하여 SEMI 표준을 준수합니다. 이를 통해 높은 수준의 안정성, 프로세스 균일성, 다른 웨이퍼 처리 시스템 및 계기와의 호환성이 보장됩니다. 전반적으로 TENCOR Phoenix D 1.2는 효율적이고 정확하며 안정적인 웨이퍼 처리를 위해 설계된 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. SEMI 표준을 준수하는 광범위한 자동화 기능 (Automation Capability) 은 프런트엔드 반도체 프로세싱에 이상적인 솔루션입니다.