판매용 중고 KENSINGTON Equinox #81777
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ID: 81777
Robot, includes controller, maximum radial reach of arm and end-effector: 18" from the centerline of the robot, dual end effector configuration, safe working envelope diameter with the arm in the center position and a wafer on the end-effector is 21".
KENSINGTON Equinox는 반도체 업계의 효율적이고 비용 효율적인 운영을 위해 설계된 고정밀 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장비에는 특허를받은 지형 기반 웨이퍼 그립 메커니즘이 장착되어 있어, 정확하고 안정적인 기판 처리가 가능합니다. 이 시스템은 또한 신뢰성과 사용자 정의가 용이하여 전송 키트 (Transfer Kit), 플렉싱 벨트 (Flexing Belt), 컨베이어 (Conveyor) 및 척 (Chuck) 플레이트와 같은 주요 구성 요소를 수정할 수 있으므로 효율성을 극대화하고 다양한 웨이퍼 크기와 모양을 정확하게 처리 할 수 있습니다. 이 장치에는 세 가지 주요 구성 요소 (컨트롤 캐비닛, 상위 스테이지 모듈 및 웨이퍼 제로 포지셔너) 가 있습니다. 제어 캐비닛에는 산업 PC, PLC 및 HMI 워크스테이션이 포함되어 있으며, 이 워크스테이션은 CANopen 통신을 통해 연결되며 효율적인 설치 및 프로그래밍이 가능합니다. 상단 (upper stage) 모듈은 상단 (upper arm) 에 있으며 기판을 전송하고 잡아당기는 역할을 수행합니다. 선형 드라이브 스테이지, 로터리 서보 및 웨이퍼 그리퍼로 구성됩니다. 웨이퍼 제로 포지셔너 (Wafer Zero Positioner) 는 기판의 정확한 방향을 결정하는 통합 컴포넌트로, 스크래치 또는 기타 손상 위험이 없는 정확한 웨이퍼 처리를 허용합니다. 또한 Equinox는 광범위한 기능과 기능을 제공합니다. 즉각적인 결합을위한 내장 진공 사전 결합 펌프는 높은 정밀 처리를 가능하게합니다. 진공 사전 결합 펌프에는 자동 조정 (auto-adjustment) 및 표면 온도 모니터링 머신 (surface temperature monitoring machine) 이 있어 정밀하고 온도 조절 된 결합 및 위치를 보장합니다. 게다가, 이 도구 에는 기판 을 정확 히 탐지 할 수 있게 해 주는, "비전 '의 집적 자산 이 있다. KENSINGTON Equinox의 주요 장점은 빠른 속도와 정확한 작동입니다. 이 모델에는 고급 컨투어 (Contour) 종동체 (Follower) 기능이 있어 아무런 손상 없이 표면에서 부드럽고 빠른 웨이퍼 이동이 가능하므로 강력한 프로세스 제어 및 비용 절감 효과를 제공합니다. 이러한 모든 기능은 최고의 정확성, 안정성, 비용 효율성을 통해 높은 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 전반적으로, Equinox는 매우 고급적이고 신뢰할 수있는 웨이퍼 핸들러로, 다양한 반도체 제작 프로세스에 사용하기에 적합하며, 매우 정확하고, 손상이 없으며, 비용 효율적인 기판 처리를 제공합니다.
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