판매용 중고 KENSINGTON CSMT-4 #9078960

KENSINGTON CSMT-4
ID: 9078960
웨이퍼 크기: 8"
Station Sorting/Mapping Tool System, 8" Wafer Handling robot with Dual Paddle for High Throughput Advanced Cassette Sort Merge/Randomize/Split Capability Cassette Tilt Scanning/Mapping System with Transmissive Metrology Measures Actual Wafer Positions in Cassettes Detects Two-wafers-in-a-slot & Cross slotted wafers Wafers Handled through slot center for minimal contamination and gentle handling High Speed, High Resolution Prealigner Foresight OCR Recognition System OS/2 Operating System with Touch Screen Color Display: Pentium PC User Friendly Graphical Interface for all operations and Recipe Generation Ergonomic Stainless-Steel Frame Better that Class-1 Clean Room Compatibility Fail-Safe, Integrated Vacuum/Motion Controllers (Kensington Model 4000) Automatic Error-Condition Recovery Smooth, Digitally-controlled DC Servo Actuation of all axes Direct Motion Metrology of all axes: Fully Distributed Force/Position Feedback Sensing Automatic Tilt-Back locates Wafers against back of cassette: prevents migration 90° Tilt-Back Cassette Loading/Unloading addresses Carpel Tunnel Syndrome Concerns Colored Light System Status Beacon Un-interruptible Power Supply/Back-up Vacuum (UPS/BUV) System. 110VAC AC 50/60 Hz Automatically Unloads all wafers safely into their cassettes on total loss of power Keyboard Drawer Mirror-Bright #8 Electro-polished Laminar Flow Frame Top X-Windows Software Installation and on-site support System Options: GEMS/SECS-II Interface Intel Ether Express W/TCPIP or HSMS.
KENSINGTON CSMT-4는 프로세스 챔버와 웨이퍼 카세트 간의 수동 교환을 위해 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 4 축 스테핑 모터 제어를 사용하여 정확하고 깨끗한 수동 웨이퍼 처리를 허용합니다. CSMT-4 는 정확한 웨이퍼 처리 (wafer handling) 에 적합하며 다양한 웨이퍼 제조 및 테스트 요구에 다양한 기능을 제공합니다. KENSINGTON CSMT-4는 유연한 구조로 설계되어 2 인치에서 8 인치 웨이퍼까지 사용할 수 있습니다. 이 장치는 또한 각 챔버에서 최대 수의 웨이퍼 (wafer) 를 허용하는 고밀도 카세트 포드 설계를 지원합니다. 이 장치에는 정확한 웨이퍼 처리 및 정렬에 대한 탁월한 정확도를 제공하는 정밀 스테퍼 모터 (precision stepper motor) 가 장착되어 있습니다. 이 장치는 또한 운동학 기반의 사전 정렬 장비와 특허를받은 편심 기어 제어 (ecentric gear control) 를 제공하여 티터-토터 동작을 줄입니다. CSMT-4는 자동화된 웨이퍼 정렬, 탁월한 처리량 및 성능을 위한 최적화된 자동 정렬 (auto-alignment) 을 통해 쉽고 빠르게 설정할 수 있습니다. 이 장치에는 프로세스 스테이션에 대한 정확한 웨이퍼 정렬을 보장하는 비전 (vision) 시스템이 장착되어 있습니다. KENSINGTON CSMT-4는 웨이퍼 당 최대 80g의 무게로 6 "~ 8" 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. 또한 단일 웨이퍼 및 카세트 로딩을 모두 처리하여 최대의 유연성과 안정성을 제공합니다 (영문). 이 장치에는 7 비트 코드가 장착되어 있어 PC에서 컨트롤러로 데이터를 안전하게 전송할 수 있습니다. 안전은 CSMT-4의 우선 순위입니다. 단순한 컨트롤과 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 사용자 친화적으로 설계되었습니다. 이 장치에는 웨이퍼 파손을 줄이는 진공 수축 (vacuum constriction) 과 에어백 (air-bag) 웨이퍼 플립 암 (flip arm) 과 같은 안전 기능도 장착되어 있습니다. 또한, 이 장치에는 감지될 때 결함이 있는 작업을 모니터링하고 보고하는 통합 안전 장치 (Integrated Safety Unit) 가 제공됩니다. KENSINGTON CSMT-4는 효율적인 사용을 위해 설계되었습니다. 사용자 친화적 인 인터페이스와 고급 기능으로 운영 및 유지 보수가 용이합니다. 이 장치에는 웨이퍼 (wafer) 측정 기계, 가스 모니터 장치, 통합 웨이퍼 위치 추적 도구 등 다양한 옵션이 제공됩니다. 또한 모듈식 (modular) 설계를 통해 고객이 필요할 때마다 손쉽게 조정하고 업그레이드할 수 있습니다. 전반적으로 CSMT-4 (CSMT-4) 는 프로세싱 챔버와 웨이퍼 카세트 간의 수동 교환을 위해 설계된 안정적이고 효율적인 웨이퍼 핸들러입니다. 이 제품은 정확한 웨이퍼 처리, 자동 웨이퍼 정렬, 비전 자산, 보호 극대화를 위한 안전 기능 등 다양한 기능을 제공합니다. 이 장치는 설치, 유지 보수가 용이하여 다양한 웨이퍼 (wafer) 제조 및 테스트 요구에 이상적인 제품입니다.
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