판매용 중고 KENSINGTON CSMT-4 #9078959
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ID: 9078959
웨이퍼 크기: 6"
Station Sorting/Mapping Tool System, 6"
Wafer Handling robot with Dual Paddle for High Throughput
Advanced Cassette Sort Merge/Randomize/Split Capability
Cassette Tilt Scanning/Mapping System with Transmissive Metrology
Measures Actual Wafer Positions in Cassettes
Detects Two-wafers-in-a-slot & Cross slotted wafers
Wafers Handled through slot center for minimal contamination and gentle handling
High Speed, High Resolution Prealigner
Foresight OCR Recognition System
OS/2 Operating System with Touch Screen Color Display: Pentium PC
User Friendly Graphical Interface for all operations and Recipe Generation
Ergonomic Stainless-Steel Frame
Better that Class-1 Clean Room Compatibility
Fail-Safe, Integrated Vacuum/Motion Controllers (Kensington Model 4000)
Automatic Error-Condition Recovery
Smooth, Digitally-controlled DC Servo Actuation of all axes
Direct Motion Metrology of all axes: Fully Distributed Force/Position Feedback Sensing
Automatic Tilt-Back locates Wafers against back of cassette: prevents migration
90° Tilt-Back Cassette Loading/Unloading addresses Carpel Tunnel Syndrome Concerns
Colored Light System Status Beacon
Un-interruptible Power Supply/Back-up Vacuum (UPS/BUV) System. 110VAC AC 50/60 Hz
Automatically Unloads all wafers safely into their cassettes on total loss of power
Keyboard Drawer
Mirror-Bright #8 Electro-polished Laminar Flow Frame Top
X-Windows Software
Installation and on-site support
System Options:
GEMS/SECS-II Interface
Intel Ether Express W/TCPIP or HSMS.
KENSINGTON CSMT-4는 반도체 산업을 위해 300mm 실리콘 웨이퍼의 대량 생산을 위해 설계된 고급 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 처리기는 최대 4 개의 웨이퍼를 운반하여 화학 증기 증착 (CVD) 장비 또는 공정 챔버에 적재 할 수 있습니다. 그것 에는 "카세트 '에서" 웨이퍼' 를 집어 처리 장치 에 넣는 "로봇 '팔 이 들어 있다. 처리기에는 Process Cycles 동안 웨이퍼를 처리하기위한 진공 장치도 포함되어 있습니다. CSMT-4 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 다양한 기능을 제공하여 자동화된 웨이퍼 처리를 위한 안정적이고 다양한 도구를 제공합니다. 고급 (Advanced) 로봇 암을 사용하면 위치의 정확도가 높고, 매끄럽고, 정확한 동작이 가능하므로 다양한 웨이퍼 크기를 수용 할 수 있습니다. 진공기는 공정 주기 동안 웨이퍼 (wafer) 가 안전하게 유지되도록 설계되어 공기 난류 또는 진동에서 웨이퍼 (wafer) 파손 가능성을 제거합니다. 탐지 도구 (Detection Tool) 는 웨이퍼 크기를 자동으로 감지하여, 웨이퍼 크기가 큰 경우에도 실시간 피드백과 정확한 위치 정보를 제공합니다. 이 핸들러 (Handler) 는 또한 로봇 암을 툴링하거나 해체하지 않아도 유지 보수 및 검사를 단순화하기위한 쉬운 액세스 커버를 갖추고 있습니다. 통합 제어 자산 (Integrated Control Asset) 을 통해 로봇 암을 지시하지 않고도 프로시저 프로그램을 저장, 실행할 수 있습니다. 공업환경 안에서 사용할 수 있도록 기계의 내부 부품에 대한 완벽한 보호 (protection) 를 제공하는 통합형 안전 가드 (safety guard) 와 연동식 (interlock) 모델도 있다. KENSINGTON CSMT-4 (KENSINGTON CSMT-4) 는 반도체 생산 산업의 가장 높은 생산 및 성능 요구를 충족하도록 설계된 검증된 신뢰성 있는 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 실리콘 웨이퍼를 처리하고 가공하기 위한 안정적이고, 안전하며, 경제적인 솔루션을 제공하며, 위치적 정확도가 높고, 인간의 개입이 최소화됩니다. 이 처리기 (Handler) 는 다양한 웨이퍼 (Wafer) 크기와 프로세스 주기를 수용할 수 있으므로 대용량 생산 및 프로세스 효율성을 향상시키는 안정적인 솔루션입니다.
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