판매용 중고 KENSINGTON CSMT-2 #9078951
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ID: 9078951
Station Sorting/Mapping Tool System, 6"
Wafer Handling robot with Dual Paddle for High Throughput
Advanced Cassette Sort Merge/Randomize/Split Capability
Cassette Tilt Scanning/Mapping System with Transmissive Metrology
Measures Actual Wafer Positions in Cassettes
Detects Two-wafers-in-a-slot & Cross slotted wafers
Wafers Handled through slot center for minimal contamination and gentle handling
High Speed, High Resolution Prealigner
Foresight OCR Recognition System
OS/2 Operating System with Touch Screen Color Display: Pentium PC
User Friendly Graphical Interface for all operations and Recipe Generation
Ergonomic Stainless-Steel Frame
Better that Class-1 Clean Room Compatibility
Fail-Safe, Integrated Vacuum/Motion Controllers (Kensington Model 4000)
Automatic Error-Condition Recovery
Smooth, Digitally-controlled DC Servo Actuation of all axes
Direct Motion Metrology of all axes: Fully Distributed Force/Position Feedback Sensing
Automatic Tilt-Back locates Wafers against back of cassette: prevents migration
90° Tilt-Back Cassette Loading/Unloading addresses Carpel Tunnel Syndrome Concerns
Colored Light System Status Beacon
Un-interruptible Power Supply/Back-up Vacuum (UPS/BUV) System. 110VAC AC 50/60 Hz
Automatically Unloads all wafers safely into their cassettes on total loss of power
Keyboard Drawer
Mirror-Bright #8 Electro-polished Laminar Flow Frame Top
X-Windows Software
Installation and on-site support
System Options:
GEMS/SECS-II Interface
Intel Ether Express W/TCPIP or HSMS.
KENSINGTON CSMT-2는 고온에 민감한 웨이퍼 처리를 위한 고성능, 비용 효율적인 솔루션을 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 처리 장비입니다. 웨이퍼 (Wafer) 처리 및 열 전달을 단순화하는 통합 흑연 구조의 자동 웨이퍼 핸들러입니다. CSMT-2의 주요 기능으로는 자동 웨이퍼 인덱싱 및 이동 장비, 열 전송을위한 통합 흑연 블록, 직관적 인 터치 스크린 인터페이스 등이 있습니다. KENSINGTON CSMT-2 (KENSINGTON CSMT-2) 는 자동화된 웨이퍼 인덱싱 및 이동 시스템을 갖추고 있어 단계 간 인덱싱 및 이동이 쉽습니다. 이렇게 하면 "흑연 블록 '의 중앙 에" 웨이퍼' 를 정확 하고 반복 하여 배치 할 수 있으므로 열 "에너지 '를 효율적 으로 전달 할 수 있다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 의 내장 열 관리 및 제어 장치는 웨이퍼 처리를 위해 외부 냉각 시스템이 필요하지 않습니다. 통합 흑연 블록은 최적 온도 균일성을 보장하는 비 접촉 열 전달 메커니즘을 특징으로합니다. 따라서 콘택트 스틱 (Contact Stick) 이나 열전대 (Thermocouple) 가 필요 없게 되어 프로세스 신뢰성이 높아지고 오염 위험이 줄어듭니다. 흑연 "블록 '은 또한 열" 드리프트' 를 방지 하여 가열 된 "웨이퍼 '가 보다 일관성 있는 처리 환경 의 온도 를 유지 하도록 한다. CSMT-2의 직관적인 터치 스크린 인터페이스는 웨이퍼 처리 및 열 전송 설정을 단순화합니다. wafer processing 매개변수에 원하는 온도, 속도, 타이밍을 선택할 수 있습니다. 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 (wafer) 처리 결과를 보장하여 전체 운영 환경을 최적화할 수 있습니다. 또한 KENSINGTON CSMT-2에는 자동 차단, 온도 초과 경보, 비상 정지 (Emergency Stop) 버튼과 같은 내장 안전 기능이 포함되어 있어 운영자와 장비가 잠재적 인 위험으로부터 보호됩니다. 또한 견고한 구조와 부식 방지 구성 요소 덕분에 유지 보수가 적은 장비입니다. CSMT-2 는 자동화된 웨이퍼 핸들러로, 고온에 민감한 웨이퍼 처리를 위한 고성능, 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 자동 웨이퍼 인덱싱 및 이동기 (automated wafer indexing and movement machine), 통합 흑연 블록, 직관적인 터치 스크린 인터페이스, 내장 안전 기능 등의 기능은 특히 고온에 민감한 웨이퍼의 안정적이고 정확한 처리에 적합합니다.
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