판매용 중고 KENSINGTON 8500-12 #9156454

ID: 9156454
Motorized stage.
KENSINGTON 8500-12는 반도체 장치 제조에 사용되는 완전 자동화 웨이퍼 핸들러입니다. 최대 8 인치, 150mm 크기의 다양한 웨이퍼 크기를 지원하도록 설계되었습니다. 이 장비는 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 전송을 위해 6 축 로봇 암을 사용하며, 웨이퍼를 추적하고 운송 중 모든 움직임을 보상 할 수있는 고정밀 비전 시스템 (High-Precision Vision System) 을 포함합니다. 이 장치는 매우 반응이 좋은 컴퓨터 컨트롤러 (Computerized Controller) 를 갖추고 있으며, 다양한 기능과 레시피로 프로그래밍하여 빠르고 정확한 웨이퍼 전송을 용이하게합니다. 특히, 컨트롤러는 웨이퍼 크기, 방향 및 처리 특성을 기반으로 매개변수로 프로그래밍 할 수 있습니다. 또한 단일 전송 시 최대 5 개의 웨이퍼를 수용할 수 있도록 설계되어 있어 처리량이 빠릅니다. 8500-12는 또한 높은 정확도와 초정밀도 위치 지정 기능을 자랑합니다. 인코더가있는 스테퍼 모터 구동 머신 (stepper motor driven machine) 과 선형 스테이지 (linear stage) 는 0.1 m의 정밀도를 제공합니다. 이 수준의 정확성을 구현하면 다양한 크기와 모양의 웨이퍼 (wafer) 처리를 위한 정확한 프로세스 제어가 가능합니다. 안전성을 위해 공구는 관성이 낮은 단단한 손목 (rist) 메커니즘을 제공 할 수 있습니다. 이는 전송 중에 의도하지 않은 웨이퍼 손상을 방지하는 데 필수적입니다. 또한, 에셋은 과부하가 발생하면 모델을 종료하는 EOS 퓨즈에 의해 보호됩니다. 또한, KENSINGTON 8500-12는 공간 요구 사항이 최소화된 대부분의 컨베이어 시스템과 통합되는 작고 가벼운 디자인을 갖추고 있습니다. 또한 자가 진단 및 사용자 친화적 인 인터페이스를 갖춘 간편한 유지 보수 (maintenance) 기능을 제공합니다. 전체적으로, 8500-12는 오늘날의 반도체 장치 제작의 요구를 충족하도록 설계된, 신뢰할 수 있는 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. 이 제품은 다양한 운영 환경에 적합한 정밀도, 반복성, 안전 기능을 제공합니다.
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