판매용 중고 KAWASAKI TS310-D511S #9144125
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카와사키 TS310-D511S (KAWASAKI TS310-D511S) 는 광범위한 연구 개발 응용 프로그램을 위해 전 세계 실험실에서 사용하도록 설계된 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 반도체 웨이퍼의 생산, 전송, 테스트 및 검사에 이상적입니다. 특정 어플리케이션 (application) 이나 환경의 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있는 독립적인 구성 요소로 구성된 모듈식 (modular) 설계가 특징입니다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 소형 선형 동작 가이드를 사용하여 도크 전송 핸들을 직선으로 제어합니다. 유도 (guiding) 와 정확한 드라이브 동작의 조합을 제공하여 웨이퍼의 정확한 전송을 달성합니다. 도크 전송 손잡이에는 진공 시스템이 장착되어 있으며 최대 150mm (6.0 인치) 의 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 또한이 웨이퍼 핸들러는 Cassette-Wafer, Cassette-Cassette 및 Cassette-to-Open Placement를 처리 할 수 있습니다. TS310-D511S 는 다양한 구성 및 전송 설정과 함께 사용하기 쉬운 터치스크린 작업 패널을 사용합니다. 따라서, 특정 애플리케이션 요구 사항에 맞게 빠르고 쉽게 설치 및 작업을 수행할 수 있습니다. 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 운영 속도 최적화를 위한 매개변수를 빠르게 이동하고 일관된 제품 품질을 유지할 수 있습니다. KAWASAKI TS310-D511S는 8 인치에서 150mm 사이의 다양한 웨이퍼를 수용하도록 구성 할 수 있습니다. 웨이퍼 처리를 위해 3 가지 모드 (연속 전송, 반복 전송 및 일회성 전송) 를 제공합니다. 전체 자동 기능으로 웨이퍼 두께를 감지하고 원하는 위치에 반복 웨이퍼를 전송할 수 있습니다. 이렇게 하면 웨이퍼의 정확한 위치가 보장됩니다. 신뢰성과 사용자 안전을 위해 TS310-D511S 는 다양한 안전 메커니즘을 갖추고 있습니다. 비정상적인 고무 설비 (fixture) 를 자동으로 점검하고 로딩 시간이 너무 오래 걸리면 로딩을 중단합니다. 다른 안전 기능으로는 도어 근접 스위치 (door appimity switch) 와 작동 시 즉시 기계를 종료하는 비상 정지 (emergency stop) 버튼이 있습니다. KAWASAKI TS310-D511S는 광범위한 어플리케이션을 위해 설계된 자동 웨이퍼 처리 시스템입니다. 모듈식 설계 (modular design) 와 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 를 통해 시스템 매개변수를 빠르고 쉽게 조정하고 구성하여 운영 및 정합성 보장 (Consistent Quality) 을 최적화할 수 있습니다. 기계의 다양한 안전 기능도 안정적이고 안전한 성능을 보장합니다.
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