판매용 중고 KAWASAKI TS220-D511S #9088881

카와사키 (KAWASAKI) TS220-D511S 웨이퍼 핸들러는 최대 8-의 연약한 반도체 웨이퍼를 정확하고 안정적으로 전송, 회전 및 검사하도록 설계된 대량 생산 장비입니다. 세밀하게 균형 잡힌 견고한 메커니즘은 민감한 웨이퍼 (wafer) 를 최소화하면서 높은 처리량을 보장하며, 전체 사이클 (cycle) 에 걸쳐 매우 정확하고 일관된 정렬을 제공합니다. TS220-D511S는 주 프로세서, 로테이터, 컨베이어 및 스토커 장치를 포함한 여러 모듈로 구성됩니다. 주 프로세서 (Main Processor) 장치에는 회전기, 컨베이어 (Conveyor) 및 스토커 (Stocker) 장치로부터 수신된 신호를 처리하여 다른 컴포넌트 간의 웨이퍼 전송을 제어하고 즉석에서 조정할 수 있도록 하는 컨트롤러가 있습니다. 회전자 장치 (rotator unit) 는 고토크 브러시리스 모터 (brushless motor) 를 사용하여 전통적인 스테퍼 모터에서 불가능한 회전 정확도를 달성하기 위해 웨이퍼를 정확하게 회전시킵니다. 컨베이어는 흡입 (suction) 과 자유 낙하 (free-fall) 기술을 결합하여 웨이퍼의 일관되게 부드러운 움직임을 보장하며, 움직임의 매끄러움은 전체적으로 인상적인 수준의 정확성을 달성합니다. 스토커 (Stocker) 장치는 신뢰성이 높고 호환 된 장치로, 최대 65 개의 8 '웨이퍼와 여러 개의 작은 웨이퍼를 안전하게 보관하도록 설계되었습니다. KAWASAKI TS220-D511S는 안정적이고 효율적으로 실행되도록 설계되었으며, 웨이퍼 전송 위치 정밀도 1.02 m, 회전 정확도 0.02 °, 웨이퍼 처리 시간 10ms의 성능 표준을 달성합니다. 또한 자동 웨이퍼 검사 (wafer inspection), 처리량 향상, 결함 제거 등의 기능을 갖춘 비전 (vision) 시스템이 내장되어 있습니다. 또한, 이벤트 구동 독립형 (event driven) 작동 장치를 사용하여 시스템의 매끄럽고 안정적인 작동을 보장합니다. TS220-D511S 의 추가 기능으로는 내장형 진단 기능을 통한 유지 보수 지원, 부품 교체 자동 알림, PC 를 통한 안전한 프로그래밍, 프로세스 매개변수의 완벽한 추적 기능 (모두 효율성 향상, 최적의 운영 및 제품 품질 보장) 등이 있습니다. 가장 중요한 것은, KAWASAKI TS220-D511S 는 경제적이고 손쉽게 관리할 수 있도록 설계되었으며, 반도체 업계의 요구에 안정적이고 경제적인 솔루션을 제공합니다. 많은 추가 기능으로 인해 TS220-D511S는 까다로운 반도체 생산 프로세스를 위해 매력적인 대량 생산 기계가되었습니다.