판매용 중고 KAWASAKI 30C63E-A003 #293643261

ID: 293643261
빈티지: 2006
Robot controller 2006 vintage.
카와 사키 (KAWASAKI) 30C63E-A003은 얇은 웨이퍼 재료를 수집, 정렬 및 운반하는 데 사용되고, 다른 섬세한/취성 재료를 운반하기 위해 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 이 핸들러는 반도체 처리, 일반적으로 PVD (Physical Vapor Deposition) 또는 CVD (Chemical Vapor Deposition) 프로세스에서 사용하도록 설계되었습니다. 이 웨이퍼 처리 솔루션 (Wafer Handling Solution) 은 조그마한 설치 공간을 갖춘 컴팩트한 디자인으로, 생산 층의 공간 절감 효과를 제공합니다. 30C63E-A003 의 "프레임 '은 부하 가 심할 수 있는 견고하고 내구성 있는 구조 를 보장 하기 위해" 아노다이즈' 화 된 "알루미늄 '으로 만들어졌다. "카세트 '수송" 플랫폼' 은 "플랫폼 '을 부드럽게 인도 하고" 카세트' "트레이 '의 마모 와 긁힘 을 방지 하는 특수 자기 부동 장치 를 갖추고 있다. 즉, 플랫폼을 따라 이동하면서 얇은 웨이퍼를 보호할 수 있는 방진 (anti-vbration) 환경을 제공합니다. 카와 사키 (KAWASAKI) 30C63E-A003에는 핸들러의 한 쪽 끝에서 다른 쪽 끝으로 웨이퍼 카세트를 전송하는 데 사용되는 가로 컨베이어 시스템도 포함되어 있습니다. 고정밀도 고속 컨베이어는 서보 모터 (servo motor) 와 타이머 벨트 장치 (timer belt unit) 에 의해 구동되며, 부드럽고 일관된 움직임을 제공하며, 청소실 바닥에 착륙할 입자의 위험을 줄입니다. 30C63E-A003에는 먼지가 아닌 방진기 (non-dust dustproof machine) 도 장착되어 있어 청소실 환경에는 먼지 및 기타 오염 물질이 없어서 생산 과정에 악영향을 줄 수 있습니다. 이 도구는 먼지 방패 (dust shield) 를 사용하여 부품과 마이크로 필터를 구획화하여 자산으로 들어가는 외국 입자를 필터링합니다. 이것은 청정실 환경을 유지하고 반도체 공정의 수율을 향상시킵니다. KAWASAKI 30C63E-A003도 안전성과 안정성을 위해 설계되었습니다. '안전 잠금 (Safety Lockout)' 모델은 덮개가 닫히지 않을 때 감지할 수 있는 '안전 잠금 (Safety Lockout)' 모델과 함께 제공됩니다. "핸들러 '는 또한" 카세트' 의 역류 를 탐지 하여 필요 할 때 "카세트 '를 빠르고 정확 하게 분류 할 수 있게 하고, 오열 되지 않을 가능성 이 있는 손상 을 피할 수 있는 반품 감각 을 가지고 있다. 전반적으로, 30C63E-A003은 매우 효율적이고 신뢰할 수있는 웨이퍼 핸들러로, 얇은 웨이퍼 재료 및 기타 연약한 부품을 제조하는 데 적합합니다. 내구성 있는 구조, 첨단 "모우션 컨트롤 '기술 및 방진 장비 는 생산 효율성 을 향상 시키고 오염 의 위험 을 줄이는 데 도움 이 된다.
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