판매용 중고 JENOPTIK INFAB SLR 200 LPTS/L #9259819

JENOPTIK INFAB SLR 200 LPTS/L은 섬세한 반도체 웨이퍼를 처리하도록 특별히 설계된 고정밀 웨이퍼 핸들러입니다. 처리 중 웨이퍼를 정확하게 정렬하기 위해 고급 선형 포지셔너 (Advanced Linear Positioner) 가 장착되어 있습니다. 이 포지셔너는 제어 장치 (Control Unit) 와 상호 작용하여 포지셔너 동작의 높은 정확성을 보장합니다. SLR 200 LPTS/L에는 크기와 모양의 웨이퍼를 처리하는 데 최대 유연성을 위해 3 개의 독립적 인 동작 축 (X, Y, R) 이 있습니다. X축은 웨이퍼를 135mm에서 270mm로, Y축은 165mm에서 280mm로, R축은 웨이퍼를 375 ° 에서 무한대 회전으로 이동할 수 있습니다. SLR 200 LPTS/L은 모든 등급의 Silicon, SiGe, GaAs 및 기타 재료를 포함하여 다양한 기판을 처리 할 수 있습니다. 직경 200mm ~ 330mm의 크기와 모양의 웨이퍼를 지원합니다. 또한, 청소 및 스커밍 제거, 에칭 및 연마 등 다양한 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 또한 복잡한 웨이퍼 검사 및 도량형 작업을 수행 할 수 있습니다. SLR 200은 또한 포괄적인 안전 기능 (예: 처리 중 웨이퍼 감지, 잠재적 손상 감지 용 경보 메커니즘) 을 제공합니다. SLR 200 LPTS/L에는 정교한 소프트웨어 패키지가 포함되어 있으며, 이 패키지에는 테스트 프로세스 확장, 프로세스 패턴 스케줄링, 자동 테스트 시퀀스, 기타 고급 기능용 소프트웨어 프로토콜이 포함되어 있습니다. 또한 소프트웨어 패키지를 사용하면 모든 위치에서 시스템을 원격 제어, 모니터링할 수 있습니다. 전반적으로 JENOPTIK INFAB SLR 200 LPTS/L은 고도의 정밀 웨이퍼 핸들러로, 반도체 산업에서 다른 기질의 높은 정확도 처리 및 자동 처리를 위해 설계되었습니다. 고급 선형 포지셔너 (linear positioner), 광범위한 모션 범위 (motion range), 포괄적인 안전 기능 및 정교한 소프트웨어 패키지는 다양한 웨이퍼 처리 작업에 특히 적합합니다.