판매용 중고 JEL GHR4206-320-PM-02194 #9396484

JEL GHR4206-320-PM-02194
ID: 9396484
Robot.
JEL GHR4206-320-PM-02194 웨이퍼 핸들러는 반도체 제작에서 웨이퍼 처리를 자동화하기 위해 설계된 고급 로봇 처리 장비입니다. 소형 분할 레일 (split-rail) 구성으로 구성되며, 브러쉬가없는 DC 모터 2 개가 측면 레일에 장착되어 정확한 고속 이동이 가능합니다. 웨이퍼는 반 정적 (anti-static) 비품으로 전송 메커니즘에 장착되어 직경이 최대 8 "인 웨이퍼의 안전하고 일관된 처리를 제공합니다. GHR4206-320-PM-02194에는 3 단계 진공 웨이퍼 전송 시스템이 장착되어 있어 웨이퍼를 빠르고 정확하게 처리 할 수 있습니다. 정밀 설계는 ± 1 m의 정확도로 빠르고 반복 가능한 위치를 제공합니다. 통합 라이트 커튼은 SMIF 인터페이스를 지원하므로 SMIF 호환 프로덕션 라인에 쉽게 통합할 수 있습니다. 이 장치에는 "와퍼 (wafer) '에 대한 추가 지원을 제공하는 진공 척 (vacuum chuck) 장치도 장착돼 있다. 통합 머신은 처리율이 높은 무중단 운영을 위해 설계되었습니다. 최적의 처리 조건과 웨이퍼 손상을 방지하기 위해 2 개의 압력 센서가 포함되어 있습니다. JEL GHR4206-320-PM-02194는 모듈식 구성을 사용하여 간편한 도구 확장과 확장성을 제공합니다. 온보드 히터는 웨이퍼 온도 제어를 제공하여 웨이퍼의 일관되고 균일 한 처리를 보장합니다. 또한 웨이퍼 처리 (Wafer Handling) 자산은 데이터 관찰 및 로깅 기능을 제공하여 운영 프로세스를 자세히 분석할 수 있습니다. 최적의 처리 조건을 보장하기 위해 활성 피드백 모델이 포함됩니다. 내장 진단 장비는 인스턴트 시스템 진단 및 문제 해결에 사용할 수 있습니다. GHR4206-320-PM-02194 는 CE 규정을 준수하며, 여러 마운팅 솔루션과 함께 제공되어 보다 유연하게 설치할 수 있습니다. JEL GHR4206-320-PM-02194는 매우 정교한 자동화 솔루션으로, 웨이퍼 처리가 쉽고 안정적으로 이루어집니다. 모듈식 구성을 통해 비용을 절감하고 시운전 시간을 단축할 수 있습니다. 통합 시스템은 또한 프로덕션 프로세스의 추적 및 모니터링을 개선합니다. GHR4206-320-PM-02194 웨이퍼 핸들러는 웨이퍼 처리를 자동화하려는 반도체 제조업체에 이상적인 솔루션입니다.
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