판매용 중고 JEL 9808005 #9396478
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JEL 9808005 웨이퍼 핸들러는 웨이퍼 처리 라인의 필수 구성 요소입니다. 이 장치는 직경이 최대 5 "인 웨이퍼를 정확하고 안정적으로 처리 할 수 있도록 설계되었습니다. 처리기의 주요 특징은 높은 처리량 컨베이어, 웨이퍼 (wafer) 운송 장비 및 웨이퍼 중심입니다. 컨베이어는 마찰이 적은 폴리머 물질로 만들어져 최소 입자 또는 오염 섭취로 시간당 최대 14 웨이퍼 (wafer) 의 높은 처리량을 허용합니다. 컨베이어는 조절 가능한 텐셔너가있는 여러 개의 소형 휠 (small wheel) 을 사용하여 추가 힘이 없어도 이동의 연속성을 보장합니다. 일련의 센서와 리프터 (lifter) 도 포함되어 웨이퍼 두께와 직경을 정확하게 측정합니다. "웨이퍼 '수송 장치 는" 와퍼' 를 수송기 로부터 중심 및 정렬 장치 로 전달 한다. 이것은 하부에 인덱스 슬라이드 레일 (indexed slide rail) 과 상단 부품에 정밀 전동식 위치 지정 장치 (precision motorized positioning machine) 가있는 독특한 2 파트 가이드 유닛에 의해 활성화됩니다. 인덱싱은 높은 위치 정밀도를 허용하고, 동력 도구는 정렬의 미세 조정을 허용합니다. 웨이퍼 중심화 및 정렬 메커니즘은 다양한 작업을 수행하도록 설계되었습니다. 첫째, 중앙 연결 메커니즘은 스프링로드 (spring-loaded) 핀을 사용하여 모든 웨이퍼가 전송 전에 중심이 되도록 합니다. 둘째, 웨이퍼 정렬 메커니즘은 들어오는 웨이퍼의 수직/수평 정렬을 자동으로 조정하는 정밀 롤러를 사용합니다. 또한, 올바른 정렬이 아닌 "웨이퍼 '를 자동으로 전송하는 것을 방지하는 안전 스위치 (safety switch) 가 포함되어 있습니다. 마지막으로 9808005 웨이퍼 핸들러에는 인라인 모니터링 기능도 장착되어 있습니다. 비전 에셋은 소프트웨어와 통합되어 웨이퍼의 전송 (transport), 정렬 (alignment) 및 중심 (centering) 오류 발생 가능성을 감지합니다. 또한, 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 유지 보수 및 청소를 최소화하고 더 큰 시스템에 쉽게 통합할 수 있도록 설계되었습니다. 요약하면, JEL 9808005 웨이퍼 핸들러는 다양한 어플리케이션에 대한 효과적인 웨이퍼 처리를 보장하도록 설계된 안정적이고 고정밀 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장치의 독보적인 기능은 높은 처리량 (Throughput Capacity) 으로 웨이퍼를 정확하게 처리하고, 센서 및 비전 시스템 (Vision System) 을 모니터링하여 안전한 전송 및 실시간 오류 감지 기능을 제공합니다.
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