판매용 중고 ISEL ROBOTIK IWH-BA13S24HDF-3 #293602549

ISEL ROBOTIK IWH-BA13S24HDF-3 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 반도체 업계의 개별 웨이퍼를 효율적으로 처리, 로드 및 언로드하도록 설계된 자동 장치입니다. 자동화된 웨이퍼 (Wafer) 처리 장비로 운영에서 높은 정확성과 반복성을 얻을 수 있습니다. IWH-BA13S24HDF-3에는 2 개의 브러시리스 DC 서보 모터에 의해 제어되는 2 개의 축 (X축 및 Z축) 으로 구성된 캐리지 프레임이 있으며, 고속 작동과 정확한 위치를 제공합니다. X축 이동은 해상도가있는 단일 DC 서보 모터 (DC-servo motor) 에 의해 제어되며 다양한 가속 및 감속 프로파일에서 광범위한 동작을 제공합니다. 모터는 ISEL ROBOTIK ULTRAROB 컨트롤러에 의해 제어되며, 이는 다중 축 연산을 구현 할 수 있습니다. Z축 이동은 웨이퍼의 수직 이동에 사용되는 다른 DC-서보 모터 (DC-servo motor) 에 의해 제어됩니다. 또한 X 축과 Z 축 모두에서 웨이퍼 위치를 조정하는 광학 포지셔닝 시스템이 있습니다. Z축은 최대 2000N (= 200kg) 의 무게를 들어 올릴 수 있으므로 더 무거운 구성 요소에 적합합니다. ISEL ROBOTIK IWH-BA13S24HDF-3 웨이퍼 핸들러에는 웨이퍼 측정 및 정렬 장치도 있어 개별 웨이퍼의 정확한 로드 및 언로드가 가능합니다. 정렬과 측정기 (alignment and measuring machine) 는 웨이퍼의 위치와 방향을 측정하기 위해 밝은 빛을 내는 CCD 카메라와 광원의 조합입니다. IWH-BA13S24HDF-3 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 로드 및 언로드 기능 외에도 핀 검사를 수행할 수 있습니다. 공압 탐사선 (pneumatic probe) 을 사용합니다. 공압 탐사선 (pneumatic probe) 은 로드된 컴포넌트의 높이와 치수와 웨이퍼 홀더의 슬롯을 측정합니다. 이 방법 을 사용 하여 "웨이퍼 '를 빠르고 정확 하게 측정 하여, 공정 의 질 을 확인 하는 데 도움 이 된다. 또한, ISEL ROBOTIK IWH-BA13S24HDF-3에는 처리 및 적재 중에 개별 웨이퍼를 잡아 확보하는 데 도움이되는 진공 도구가 있습니다. 또한, 진공 자산은 공정 화학 물질 및 먼지 (dust) 로 인한 잠재적 오염을 견딜 수 있도록 설계되어, 부품의 안전을 보장합니다. IWH-BA13S24HDF-3 (IWH-BA13S24HDF-3) 은 대용량 웨이퍼를 처리하기 위한 대용량의 고효율, 시간 절약형 웨이퍼 처리 장치입니다. 웨이퍼 로드, 언로드, 핀 검사, 웨이퍼 측정 등 다양한 프로덕션 프로세스를 자동화할 수 있으며, 정확도가 높은 정밀하고 반복 가능한 프로세스를 보장합니다. 이 장치는 또한 다양한 운영 환경에서 구현될 수 있으며, 생산성 및 비용 효율성 향상을 위한 효율적인 솔루션을 제공합니다 (영문).