판매용 중고 IRVINE OPTICAL / BROOKS AUTOMATION Ultrasort 208 #9229200

IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION Ultrasort 208은 다양한 고급 반도체 처리 응용 프로그램에 사용되는 다기능 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장치는 최대 200mm의 100mm-200mm 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 반도체 제작 프로세스 내에서 웨이퍼를 효율적으로 운송하도록 설계되었습니다. 이 장비는 수동 및 자동 웨이퍼 처리 기능을 모두 사용할 수 있습니다. 어바인 옵티컬 울트라소트 208 (IRVINE OPTICAL Ultrasort 208) 은 내구성 스테인리스 스틸 구조의 모듈식 설계를 특징으로하며, 내부 챔버가 확대되어 있습니다. 이 기능을 사용하면 웨이퍼 로드/언로드의 유연성이 향상되고, 클리닝/유지 보수에 대한 액세스 용이성이 향상됩니다. 이 시스템에는 자체 장착 로딩/언로드 장치 (옵션) 와 트레이 드라이브 모터 (옵션) 가 포함되어 있어 기존 생산 시스템에 쉽게 통합할 수 있습니다. 이 기계에는 정확한 웨이퍼 매핑 및 위치 지정을 위한 고급 센서가 장착되어 있습니다. 컴퓨터에는 wafer handling 루틴의 수동/자동 프로그래밍이 모두 가능한 업데이트된 open architecture 소프트웨어 패키지가 있습니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '를 순서대로 효율적 으로 재현 할 수 있다. 또한 향후 사용할 수 있도록 데이터 캡처 및 스토리지를 사용할 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION Ultrasort 208은 완전히 밀폐된 환경을 갖추고 있으며, 고급 공기 관리 도구를 사용하여 먼지 오염을 최소화합니다. 인체 공학적으로 설계된 액세스 포트를 사용하면 와퍼를 안전하고 쉽게 로드하고 언로드할 수 있습니다. 이 장치에는 다양한 웨이퍼 크기를 수용 할 수있는 조정 가능한 급지장치가 장착되어 있습니다. 또한, 자산에는 운영자 (operator) 와 웨이퍼 (wafer) 를 잠재적 위험으로부터 보호하기 위해 설계된 고급 안전 기능이 장착되어 있습니다. 안전 기능으로는 인터 록 (interlock), 비상 정지 (emergency stop) 및 챔버가 안전하지 않은 상태에있을 때 인식하는 광학 센서가 있습니다. 이렇게 하면 모델이 안전할 때만 작동됩니다. Ultrasort 208은 작동 및 유지 관리가 쉽습니다. 생산 라인 내에서 병목 현상을 최소화하는 컴팩트한 디자인이 있습니다 (영문). 또한 깨끗하고 입자가없는 작업 영역을 유지하는 데 사용될 수있는 추가 "린스 스테이션 (rinse station)" 이 장착되어 있습니다. 전반적으로 IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION Ultrasort 208은 반도체 처리 응용 프로그램을 위해 안정적이고 효율적인 웨이퍼 처리기입니다. 유연성, 안전성, 생산성을 극대화하도록 설계되었으며, 모든 Cleanroom 환경에 적합합니다.