판매용 중고 IRVINE OPTICAL / BROOKS AUTOMATION SCS 3000 #293601072

IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION SCS 3000 웨이퍼 핸들러는 반도체 장치의 대용량 생산에 사용되는 고성능 도구입니다. 이 제품은 처리 속도 향상, 처리량 균일성 향상, 주기 시간 단축, 수율 증대를 위해 설계된 완전 자동화된 듀얼 스테이지 (dual-stage) 장비입니다. IRVINE OPTICAL SCS 3000은 이중 트랙 시스템 및 대형 기계 어레이가있는 2 단계 핸들러로 구성됩니다. 2 단계 핸들러에는 카세트 대 카세트 운송 메커니즘과 로봇 스캔 암으로 구성된 1 단계 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 가 포함됩니다. 로봇 스캔 암 (Robot Scan Arm) 은 카세트에서 듀얼 트랙 유닛으로 웨이퍼를 안전하게 운송하도록 설계되었으며, 그 반대의 경우도 마찬가지입니다. 그런 다음 이중 트랙 기계는 웨이퍼의 정렬 및 조작을 위해 8 축 회전 테이블을 통해 웨이퍼를 공급합니다. 또한 이중 트랙 도구 (Dual-Track Tool) 는 응집성 가스의 전달을 제어하며, 속도를 자동으로 조정하여 처리량을 최대화하고 단위 간 주기 시간을 최소화합니다. 따라서 주기 시간 단축, 처리량 균일성 및 처리량 증가, 수율 증가 등의 효과를 얻을 수 있습니다. 웨이퍼의 총 전송 시간은 11 초입니다. BROOKS AUTOMATION SCS 3000 Wafer Handler에 사용되는 로봇은 최고의 효율성과 안정성을 위해 설계되었습니다. "웨이퍼 핸들러 '의 자동" 컨트롤' 은 안전 하고 효율적 인 작업 을 위해 모든 작업 과정 을 끊임없이 모니터링 한다. 웨이퍼 소터 (Wafer Sorter) 와 웨이퍼 피커 (Wafer Picker) 로 구성된 재료 처리 에셋은 올바른 방향으로 적절한 웨이퍼를 처리하도록 도와줍니다. SCS 3000 Wafer Handler는 다양한 웨이퍼 형식, 웨이퍼 매거진 및 다양한 웨이퍼 크기를 지원할 수 있도록 설계되었습니다. 이러한 유연성을 통해 처리량을 극대화할 수 있으며, Wafer Handler 는 디바이스 어셈블리, Die Mount, Die Attach와 같은 다양한 애플리케이션에 적합합니다. IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION SCS 3000 Wafer Handler에는 웨이퍼와 기계의 손상을 방지하는 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 이러한 기능에는 웨이퍼 에지 보호, 웨이퍼 볼 보호 및 웨이퍼 샤워 어셈블리 보호가 포함됩니다. 이러한 모든 기능은 최고 품질의 제품을 확보하고, 장애가 발생하거나, 사고가 발생할 수 있도록 설계되었습니다. 전반적으로 IRVINE OPTICAL SCS 3000 Wafer Handler는 반도체 장치의 자동 생산을위한 고효율의 고성능 도구입니다. 유연성, 효율성, 안전성 및 정확성을 위해 설계되었습니다. 이는 광범위한 반도체 애플리케이션에 이상적인 선택입니다.