판매용 중고 IRVINE OPTICAL / BROOKS AUTOMATION SCS-2000 #293601074

IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION SCS-2000 웨이퍼 핸들러는 다양한 웨이퍼 처리 응용 프로그램을 지원하도록 설계된 완전 자동화 된 웨이퍼 처리 장비입니다. IRVINE OPTICAL SCS-2000은 웨이퍼 픽업 및 배치, 웨이퍼 스태킹 및 제거, 웨이퍼 펜스 작업, 웨이퍼 분할 및 전송 작업 및 기타 웨이퍼 처리 요구에 사용할 수 있습니다. 브룩스 자동화 SCS-2000 (BROOKS AUTOMATION SCS-2000) 은 고급 로봇 시스템과 다양한 조정 가능한 웨이퍼 로드 및 툴링 시스템을 통해 유연성을 향상시킵니다. 고급 로봇 장치는 0.1m/s 의 빠른 속도로 최대 2.5kg 의 웨이퍼 (wafer) 를 이동할 수 있으므로 빠르고 효율적인 웨이퍼 처리가 가능합니다. SCS-2000에는 최대 스테이지 속도가 10m/min인 조절 가능한 XY 스태거가 장착되어 있으며, 최적의 웨이퍼 처리 기능을 제공합니다. 또한 IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION SCS-2000은 다양한 사전 설정된 압력 및 온도 옵션을 갖춘 자동 웨이퍼 라미네이션 스테이션을 자랑하여 더 빠른 웨이퍼 처리를 지원합니다. 또한 IRVINE OPTICAL SCS-2000은 비상 전원 끄기 기능, 사전 설정된 웨이퍼/로드 처리 제한, 로봇 공구의 안전한 작동을 보장하는 안전 펜싱 머신 (Safety Fencing Machine) 과 같은 통합 안전 기능으로 설계되었습니다. 이 자산에는 특허를 받은 EZ Reach ™ 기술이 장착되어 있어 로봇 배치 정확성과 EZ Feed ™ (EZ Feed ™) 기술을 통해 더 쉽고 빠른 웨이퍼 로딩 기능을 제공합니다. BROOKS AUTOMATION SCS-2000 은 다양한 기판과 호환되며, 고유한 열 환경을 유지하여 웨이퍼 (wafer) 처리 시 최대 수준의 웨이퍼 보호 기능을 제공합니다. 또한 웨이퍼 처리 작업 중 과잉 냉각수 (excess coolant) 를 수집 및 재사용하기위한 물 캐치 탱크 (water catch tank) 가 장착되어 있습니다. 또한 SCS-2000은 기계적으로 내구성이 뛰어나며, 수년간 유지 보수 없이 IP65 밀봉 챔버 및 스테인리스 스틸 건설이 가능합니다. 전반적으로 IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION SCS-2000 웨이퍼 처리기는 광범위한 웨이퍼 처리 요구 사항에 이상적인 솔루션입니다. 고급 로봇 모델과 다양한 조절 가능한 웨이퍼 로드/툴링 시스템 (Wafer Load and Tooling System) 은 향상된 유연성과 정밀도를 제공하는 반면, 안전 기능은 안전한 작동을 보장하고 열 제어는 최대 웨이퍼 보호 (Wafer Protection) 를 보장합니다. IRVINE OPTICAL SCS-2000은 유지 보수가 용이하며 수년간 유지 보수가 불가능한 작업을 제공합니다.