판매용 중고 IRVINE OPTICAL / BROOKS AUTOMATION APS 408 #293601071

IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS 408 Wafer Handler는 반도체 및 MEMS 산업의 웨이퍼를 전송하도록 설계된 자동 웨이퍼 처리 장비입니다. 그것 은 직경 이 최대 67mm 인 더 큰 "카세트 '와 기타 여러 가지 작은 부분 에서" 웨이퍼' 를 옮길 수 있다. 이 시스템은 소형 모듈식 (compact, modular) 설계를 통해 효율적이고 안전한 웨이퍼 전송 및 처리를 제공하는 고성능 기능을 제공하도록 설계되었습니다. IRVINE OPTICAL APS 408 Wafer Handler의 주요 구성 요소에는 컬렉션 스테이션, 정렬 장치, 픽앤 플레이스 모듈 및 전송 장치가 포함됩니다. 컬렉션 스테이션은 더 큰 카세트 캐리어에서 BROOKS AUTOMATION APS 408로 웨이퍼를 정위하고 이동하는 데 사용됩니다. FOUP 스타일의 로딩 셔틀이 특징이며, 이를 통해 웨이퍼 및 부품을 정확하게 로드하고 언로드할 수 있습니다. 웨이퍼 정렬 기계는 픽앤 플레이스 (pick-and-place) 작업 전에 웨이퍼를 정확하게 중앙에 배치하는 데 도움이됩니다. 이 장치는 2 개의 카메라와 광학 정렬 마커를 사용하여 웨이퍼를 배치하고 정위합니다. 또한 너비를 조정하여 빠르고 정밀한 웨이퍼 정렬을 제공합니다. 픽앤 플레이스 (pick-and-place) 모듈은 정렬 도구에서 전송 장치의 공구 설비 플레이트로 웨이퍼를 정확하게 전송하는 데 사용됩니다. 이것은 최종 효과가있는 사각형 램 극을 사용하여 수행됩니다. 또한 Z 센서 기능이 있으므로 동일한 웨이퍼를 여러 번 처리 할 수 있습니다. 마지막으로, 전송 장치는 웨이퍼를 목적지로 운송하는 데 사용됩니다. "와퍼 '와" 벨트' 전사 "에셋 '을 보관 할 수 있는 독특 하고 조정 가능 한" 핀' 공구판 이 특징 이다. 이 모델은 운송 중 정확한 웨이퍼 배치를 보장하고, 진공 손실을 줄이고, 취급 중 깨끗한 공기를 제공하여 오염을 줄이는 데 도움이됩니다. APS 408 은 주 구성요소 이외에도 사용자 친화적인 그래픽 인터페이스 (GUI) 를 갖추고 있어 장비를 손쉽게 구성하고 운영할 수 있습니다. 또한 과열 및 과전류 보호와 같은 내장 안전 기능도 갖추고 있습니다. 이 밖에도 다양한 자동화 시스템 (Automation System) 과 연동하여 광범위한 애플리케이션을 위한 비용 효율적이고 확장성이 뛰어난 솔루션이 될 수 있습니다 (영문). 전반적으로 IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS 408 Wafer Handler는 웨이퍼 및 기타 소형 부품을 전송하도록 설계된 효율적이고 신뢰할 수있는 자동 시스템입니다. 이 제품은 정밀한 정렬, Pick-and-Place 작업을 위해 설계되었으며, 모듈식 설계를 통해 높은 적응성과 비용 효율성을 제공합니다. 따라서 많은 반도체 및 MEMS 생산 요구에 이상적인 솔루션입니다.