판매용 중고 IRVINE OPTICAL / BROOKS AUTOMATION APS 2XT #9228147

IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS 2XT 웨이퍼 핸들러는 클린 룸 환경에서 로드된 웨이퍼 카세트를 운송 및 처리하는 데 사용되는 최첨단 로봇 장비입니다. 이 시스템은 반도체 제작 공정에서 생산 자동화에 최적화된 독립형 (독립형) 도구입니다. IRVINE OPTICAL APS 2XT는 고급 센서, 모터 컨트롤러 및 로봇 동작 제어 기술을 효율성, 유연성 및 정확성을 극대화하는 소형 장치에 통합합니다. 전체 웨이퍼 전송 (Wafer Transfer) 및 처리 작업 (Processing Operation) 을 최적으로 제어하기 위해 광범위한 엔지니어링 시스템에서 입력을 허용하도록 설계되었습니다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 에는 전체 어셈블리를 지원하고 적재 된 웨이퍼 카세트를 올바르게 처리하기위한 스테이션 감지 기능을 제공하는 베이스 플레이트가 포함되어 있습니다. 로봇 암은 모터 토크 (motor torque) 와 발열 (heat dissipation) 을 최소화하여 공격적인 가속을 가능하게하면서 정확한 반복성을 제공하도록 설계되었습니다. 로봇 암에는 포지션 리드 아웃 (read-out) 및 비전 소프트 터치 조작과 같은 기능도 포함되어 있습니다. 이를 통해 대형 웨이퍼 카세트를 사용하는 경우에도 웨이퍼 처리 (wafer-handling) 작업의 품질과 반복성이 매우 일관성을 유지할 수 있습니다. 통합 비전 머신은 CCD 카메라와 LED 조명 도구를 모두 사용합니다. 이렇게 하면 노이즈 간섭이 감지되지 않고 밝고 균등하게 켜진 웨이퍼 (wafer) 카세트 이미지가 표시됩니다. 또한 Vision 자산에는 BROOKS AUTOMATION APS 2XT가 웨이퍼 카세트를 구별하고 정렬 프로세스를 추가로 자동화 할 수있는 4 색 레이블 판독 기능이 포함되어 있습니다. APS 2XT (User-Friendly TouchScreen Interface) 를 통해 운영자는 작업을 실시간으로 모니터링하면서 워크플로를 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 사용자 인터페이스는 자체 진단 및 유지 보수 경고를 제공합니다. 즉, 운영자가 모델의 성능을 최적화하기 위해 조정할 때 필요한 정보를 받게 됩니다. 또한 IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS 2XT에는 안전성을 높이고 적재 된 웨이퍼를 오염으로부터 보호하는 다양한 보안 기능이 포함되어 있습니다. 여기에는 적재 된 웨이퍼에 대한 무단 액세스를 방지하는 물리적 잠금 장비 (physical lock equipment) 와 고정 전기의 영향을 받는 민감한 부품을 방지하는 정전기 방전 (ESD) 가드가 포함됩니다. IRVINE OPTICAL APS 2XT는 반도체 제조업체에 TCO (총 소유 비용) 를 제공하는 다목적 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 효율적인 설계와 안정적인 운영 및 비용 절감 기능을 결합한 '고급 웨이퍼 (Wafer)' 처리 환경을 위한 완벽한 선택입니다.