판매용 중고 IRVINE OPTICAL / BROOKS AUTOMATION APS 2XT #9160691

IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS 2XT는 웨이퍼 처리를 위해 정밀 자동화 및 높은 처리량을 제공하도록 설계된 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 어바인 옵티컬 APS 2XT (IRVINE OPTICAL APS 2XT) 는 다양한 도구와 프로세스와 쉽게 통합 할 수있는 완전 자동 웨이퍼 전송 장비입니다. BROOKS AUTOMATION APS 2XT (AUTOMATION APS 2XT) 는 전체 프로세스 자동화, 유연성 및 확장성을 제공하면서 지연을 줄이고 인적 오류를 제한하도록 설계되었습니다. Wafer Storage (웨이퍼 스토리지), Processing (처리), Handling (처리) 및 Drying (건조) 을 위한 다양한 옵션이 장착되어 있어 고객의 개별 애플리케이션 요구에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. APS 2XT는 200mm, 300mm 및 400mm 직경 웨이퍼를 최대 시간당 120 웨이퍼로 처리 할 수 있으며, 전체 프로세스를 단순화합니다. 또한, 시스템은 다른 직경과 두께의 웨이퍼를 구별 할 수 있습니다. IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS 2XT는 얇고 두꺼운 Film 증착, 에칭, 얇음, 단행 및 랩, 웨이퍼 베이킹 및 테스트와 같은 다양한 웨이퍼 처리 응용 프로그램에서 사용할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 백프레저 조절기, 밸브, 컨테이너 필러 (container filler) 와 같은 다양한 펌프 및 액세서리와 통합 도량형 시스템 (옵션) 으로 구성 될 수 있습니다. IRVINE OPTICAL APS 2XT는 사용하기 쉽고 최소 연산자 개입이 필요합니다. 이 장치의 터치스크린 사용자 인터페이스 (user-interface) 는 실시간 피드백을 제공하여 사용자가 진행 중인 프로세스를 모니터링하고 추적할 수 있도록 합니다. 또한, 시스템의 최적화 소프트웨어 (optimization software) 를 사용하여 프로세스를 최적화하기 위해 모든 작동 매개변수를 식별하고 조정할 수 있습니다. 안정성과 반복 가능한 성능을 보장하기 위해 BROOKS AUTOMATION APS 2XT는 여러 기능으로 구성됩니다. 이러한 기능에는 모션 컨트롤 구성 요소 및 진공 시스템 (vacuum system) 과 24/7 작동의 엄격함을 견딜 수있는 견고한 기계 설계가 포함됩니다. 기계 의 뛰어난 기계 "디자인 '은 또한 진동 과 소음 수준 을 감소 시켜, 청소 실 작업 에 적합 하다. 마지막으로, 기계는 간편한 액세스 도어 (Access Door) 와 자동 데크 (Automation Deck) 를 장착하여 쉽게 검사하고 유지 관리합니다. 전반적으로 APS 2XT는 웨이퍼 처리 응용 프로그램을 위해 안정적이고 다양한 웨이퍼 핸들러를 제공합니다. 정밀 자동화, 높은 처리량, 사용이 간편한 제어 시스템을 결합한 IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS 2XT는 모든 처리 환경에 귀중한 추가 기능을 제공합니다.