판매용 중고 ILHOTECH M23IDF #9390882

ILHOTECH M23IDF 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 연약하고 정확한 웨이퍼를 빠르고 안전하게 처리하기위한 고급적이고 혁신적인 로봇입니다. 로봇은 반도체, 디스플레이 및 LED 제조 산업의 웨이퍼 운송을 위해 특별히 설계되었습니다. 산업 로봇 암, 웨이퍼 그립 장치, 디스펜스 보울 회전 목마 (dispense bowl carousel) 및 여러 포지셔너로 구성된 멀티 축 로봇 시스템입니다. "로봇 '암 은 빠른 속도 로 그리고 매우 정확 하게" 웨이퍼' 를 움직 일 수 있다. 또한 크기가 작아 다양한 프로세스 및 머신에 쉽게 통합 할 수 있습니다. 웨이퍼 그립 장치는 3 턱 척 메커니즘으로 웨이퍼를 안전하게 고정하도록 설계되었습니다. 척은 내구성이 있고, 정전기가 아닌 물질로 만들어져 있으며, 피해를 입히지 않고 다양한 종류의 웨이퍼를 단단히, 안전하게 잡을 수 있습니다. 척 (chuck) 은 조정 가능한 개구력을 가지고 있으며, 이는 최적의 잡기 강도를 보장하도록 조정 할 수 있습니다. 디스펜스 보울 회전 목마는 한 번에 최대 9 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 회전 목마는 저장력 스프링 로딩 가이드 휠 (low-tension spring-loaded guide wheel) 을 장착하여 웨이퍼 디스펜싱 중에 로봇의 움직임을 정확하게 추적 할 수 있습니다. 또한, 회전 목마는 에찬트 (etchant) 와 얇은 사람 (thinner) 과 같은 분배 액체를위한 저수지 역할을합니다. 양도 (transfer arm) 라고도하는 포지셔너는 로봇의 주요 구성 요소입니다. 이 팔은 프로세스와 위치 사이에서 웨이퍼를 이동하도록 설계되었습니다. 그 들 은 여러 가지 조정 가능 한 "설정 '을 갖추고 있어서" 웨이퍼' 를 원하는 방향 이나 속도 로, 그리고 극도 의 정밀도 로 움직 일 수 있다. 포지셔너는 또한 웨이퍼 좌표를 감지하기위한 센서를 갖추고 있으며, 웨이퍼의 우발적 인 오해를 방지합니다. M23IDF 웨이퍼 핸들러 (M23IDF Wafer Handler) 는 반도체 프로세스에서 웨이퍼를 처리하기위한 안정적이고 안전한 도구입니다. 첨단 기술 기능 은 "웨이퍼 '를 아무런 손상 이나 오염 도 없이 안전 하고 정확 하게 처리 한다. "로봇 '은 사용자 정의 기능이 뛰어나 모든 설정에 쉽게 통합될 수 있으며, 직관적인" 소프트웨어' 와 사용자 친화적인 인터페이스로 "프로그램 ', 운영 및 유지 관리가 간편합니다.