판매용 중고 ILHOTECH ITAL-500 #9392926

일호 테크 ITAL-500 (ILHOTECH ITAL-500) 은 다양한 반도체 장치 제작 단계를 통해 복합 반도체 웨이퍼를 처리하도록 설계된 고정밀 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 여러 워크스테이션 간에 최대 150mm 직경의 웨이퍼를 들어올리고 전송할 수있는 진공 로봇 암 (vacuum robot arm) 을 갖추고 있습니다. 이 암은 웨이퍼를 정확하게 배치 할 수 있지만, 반도체 처리 중에 필요한 완전히 건조한 환경을 제공 할 수 있습니다. 이 장치의 핵심 구성 요소는 로봇 암 (robot arm), 공구 설비 (tooling fixture) 및 로봇의 동작을 제어하는 마이크로 드라이브 머신 (micro-drive machine) 입니다. 로봇 암은 표준 100mm 또는 150mm 반도체 환승 스테이션에 맞게 설계되어 산화물, 폴리 실리콘, 갈륨 비소, 게르마늄-실리콘 기판을 포함한 거의 모든 유형의 웨이퍼 재료를 처리 할 수 있습니다. 또한, 로봇 암은 자동 로드/언로드 스테이션 또는 도구와 호환되도록 설계되었습니다. ITAL-500 기반은 산업용 견고한 프레임으로, 높은 무게와 진동 (vibration) 하에서도 안정성을 제공하도록 제작되었습니다. 베이스에는 강력한 이동식 플랫폼 (moveable platford) 이 있으며, 이를 통해 에셋은 더 넓은 이동을 제공할 수 있으며, 높은 정확도 동작을 지원할 수 있습니다. 이 모델은 또한 매우 정확하고 안정적인 델타 드라이브 (Delta Drive) 마이크로 드라이브 장치를 사용하여 도구를 빠르고, 정확하며, 반복적으로 포지셔닝할 수 있습니다. 이 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 의 공구 설비 (Tooling Fixture) 는 프로세스 공구에 안전한 플랫폼을 제공하고 웨이퍼 (Wafer) 를 전송하고 그립하는 진공 연결을 제공하도록 설계되었습니다. 이 고정장치는 또한 쉽고 간단한 도구 교환을 가능하게 하는 빠른 변경 도구 (quick-change tool) 메커니즘을 특징으로합니다. 또한 공구 고정장치 (touch-and-go) 센서가 장착되어 수평 방향과 수직 방향의 와퍼를 정밀하게 정렬할 수 있습니다. ILHOTECH ITAL-500의 다른 기능은 웨이퍼 방향 및 에지 위치, 완전 자동화 된 레시피 기반 프로세스, 종합적인 웹 기반 모니터링 및 제어 시스템을 감지하기위한 통합 비전 장비입니다. 이 장치는 운영 및 유지 보수가 간단하도록 설계되었으며, 제조 (Fabrication) 프로세스의 여러 단계 간에 전체 프로세스 간 통신을 제공합니다. 또한 ITAL-500은 반도체 제작 프로세스의 안전 표준을 준수합니다. 전반적으로, ILHOTECH ITAL-500은 반도체 산업의 요구를 충족시키기 위해 설계된 효과적이고 신뢰할 수있는 웨이퍼 처리 기계입니다. 반도체 웨이퍼의 고수율 처리를 위해 공정도구의 정확하고 반복 가능한 동작을 제공합니다. 종합적인 설계를 통해 높은 정확성과 빠른 웨이퍼 (wafer) 처리가 가능하므로 광범위한 생산 요구에 적합합니다.