판매용 중고 HITACHI CR-8V #293594741

제조사
HITACHI
모델
CR-8V
ID: 293594741
빈티지: 1995
Clean robot 1995 vintage.
HITACHI CR-8V 웨이퍼 핸들러는 반도체 웨이퍼의 처리 및 처리를 위해 설계된 고정밀 로봇 장비입니다. 이 시스템에는 서보 모터, 로봇 암, 공구 척의 세 가지 주요 구성 요소가 있습니다. 서보 모터 (servo motor) 는 로봇 팔의 움직임을 정확하게 제어하고 빠르고 정확한 웨이퍼 처리를 가능하게합니다. 로봇 암 (robotic arm) 은 두 개의 주요 섹션 (위쪽 및 아래쪽 부분) 으로 구성되어 있으며, 팔이 3 개의 축으로 움직일 수 있도록 연결되어 있습니다. 팔의 움직임은 모터에 의해 제어되며 PC 장치를 통해 프로그래밍됩니다. 공구 척은 처리 중 웨이퍼를 고정, 보류 및 처리하는 데 사용됩니다. 전체 "머신 '은 높은 정확도 와 반복성 을 지닌 것 으로 설계 되었으며, 여러 가지" 웨이퍼' 형태 의 빠른 작동 과 처리 에 적합 하다. CR-8V 는 유연한 웨이퍼 (Wafer) 포지셔닝 및 효율적인 웨이퍼 처리 기능을 제공하여 웨이퍼 처리에 높은 처리량과 정확성을 제공합니다. 이 기계의 자동 작업 (automated operation) 을 통해 여러 웨이퍼 유형의 고밀도 처리를 위해 안전하고 안정적인 방법으로 웨이퍼를 정렬, 선택 및 배치, 뒤집을 수 있습니다. 정합성 보장 (Consistent Quality) 처리를 위해 기계에 센서 배열 (Array of Sensor) 과 진단 기능 (Diagnostic Function) 이 장착되어 있어 오작동을 신속하게 감지하고 수정 작업을 시작할 수 있습니다. 이 기계는 진공 척 (vacuum chuck) 을 사용하여 웨이퍼를 핸들러로 운반하는 진공 수송 도구 (옵션) 를 장착 할 수 있습니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '처리 속도, 정확도 및 공정 수율 이 향상 되고, 수동 삽입 으로 인한 연약 한" 웨이퍼' 가 손상 될 위험성 이 줄어든다. 공구가 필요 없는 고유한 대체 (Tool-free Replacement) 기능을 통해 사용자는 디스어셈블리가 없는 로봇 부품을 빠르고 쉽게 교체할 수 있습니다. HITACHI CR-8V는 고속, 정확성 및 반복 가능성을 지원하는 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 이 기계는 고성능 (High Performance) 을 위해 설계되었으며, 빠르고 효율적인 웨이퍼 처리 및 처리를 위한 자동화된 솔루션을 제공합니다. 이 자산에는 최적의 정확성과 반복성 (repeatability) 을 보장하는 다양한 기능과 빠르고 안전한 웨이퍼 (wafer) 전송을 위한 진공 운송 모델 (옵션) 이 장착되어 있습니다.
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