판매용 중고 HIRATA KWA-08/12 #9111419

HIRATA KWA-08/12
ID: 9111419
Aligner P/N: 19555.
HIRATA KWA-08/12 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 반도체 장치의 제작에 정확하고 쉽게 사용할 수 있도록 설계된 로봇 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 산 에칭 및 클리닝에서 물질 증착 및 리소그래피에 이르기까지 모든 웨이퍼 처리 단계에서 사용할 수 있습니다. HIRATA KWA-08/12 는 다양한 애플리케이션에서 효율적으로 작동할 수 있는 다양한 기능을 갖추고 있습니다. "와퍼 '를 고도 의 정확도 와 제어 로 움직 일 수 있으며, 안전 하고 안전 하게 저장 할 수 있다. 첨단 모션 컨트롤 (Motion Control) 기술을 통해 최대 1500 rpm의 속도로 웨이퍼를 이동하고 회전할 수 있습니다. 이렇게 하면 빠르고 정확한 웨이퍼 이동이 가능합니다. HIRATA KWA-08/12는 또한 웨이퍼를 처리 할 때 정확성과 안전을 보장하도록 설계된 다양한 기능을 제공합니다. 예를 들어, 모션이 커밋되기 전에 웨이퍼의 방향과 크기를 확인하는 자동 웨이퍼 위치 확인 시스템 (automated wafer position checking system) 이 있습니다. 또한, 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 에는 예기치 않은 중단시 웨이퍼 이동을 자동으로 중지하는 fail-safe 장치가 장착되어 있습니다. HIRATA KWA-08/12 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 에는 여러 웨이퍼를 한꺼번에 집어 들고 보관하는 데 매우 효과적인 통합 진공기가 있습니다. 이것 은 오염 물질 이 "웨이퍼 '에 들어갈 위험성 을 감소 시키는데, 특히 청소 시설 환경 에서 중요 하다. 또한, 매우 효율적이고 유지 보수가 적은 웨이퍼 (wafer) 스토리지 툴을 갖추고 있어 최대 6 개의 웨이퍼를 저장할 수 있습니다. HIRATA KWA-08/12 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 다양한 고급 소프트웨어 기능으로 보완되어 작동 정확성과 속도를 보장합니다. 여러 통신 프로토콜과 호환되며, 이를 통해 다양한 디지털 (digital) 구성 시스템에 통합할 수 있습니다. 또한 Wafer 상태를 실시간으로 모니터링하여 보다 신속한 프로세스 최적화를 지원합니다. 또한, 다양한 제작 애플리케이션에 적합한 광범위한 레시피 (레시피) 를 제공합니다. 전체적으로 HIRATA KWA-08/12는 반도체 처리 응용 프로그램의 속도, 정확성 및 안전을 위해 설계된 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 다양한 기능과 자동화 (automation) 기능을 통해 Wafer 처리 요구 사항을 충족하는 안정적이고 효율적인 솔루션을 제공합니다.
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