판매용 중고 HIRATA HNC-US566-6 #9111398

HIRATA HNC-US566-6은 얇은 웨이퍼의 안정적인 로드 및 언로드를 위해 설계된 로봇 웨이퍼 핸들러입니다. 공정 도구, 로드 락 (Load Lock) 및 캐리어 사이에 웨이퍼를 정확하게 전송하기 위해 고속, 고정밀 간트리 로봇을 사용합니다. 이 로봇은 클래스 1 (Class 1) 청소실 환경에서 작동하도록 설계되었으며 직경이 최대 6 인치 인 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 "카메라 '는" 웨이퍼' 의 진행 과정 을 추적 하고 정확 한 위치 에 따라 "웨이퍼 '를 정확 하게 배치 하는 데 도움 이 된다. "로봇 '은 정밀 한 배치 와 고속 이동 을 위하여 x, y, z 평면 으로 움직 일 수 있는 3 도 의 자유 를 가지고 있다. 그리퍼는 최대 0.8mm 두께의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 이는 다양한 응용 분야에 적합합니다. 이외에도 자가 점검 (self-check) 기능을 통해 모든 컴포넌트를 모니터링하고 작업 중 오류를 감지하고 보고할 수 있습니다. 로드 및 언로드 프로세스는 처리 중 입자 오염을 최소화하는 Class 1 클린 룸 (Class 1 cleanroom) 환경에서 수행됩니다. "로봇 '은 또한" 와퍼' 를 한 도구 에서 다른 도구 로 옮길 때 "로봇 '내부 에 오염 이 들어가지 못하게 하는 부하 자물쇠" 시스템' 을 가지고 있다. 운영, 청결 및 보안을 보호하기 위해 모든 로봇의 작업을 모니터링하는 SIS (Safety Interlock System) 가 있습니다. HNC-US566-6은 안정적이고 효율적인 웨이퍼 핸들러로, 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 즉, 고속, 정밀도, 정확도를 통해 클린 룸 환경에서 웨이퍼를 로드하고 언로드할 수 있는 이상적인 솔루션입니다. 안전성 (Safety) 기능은 또한 제품 또는 기타 구성요소를 손상시키지 않고 작동하여 안정적이고 비용 효율적인 자동화 (Automation) 솔루션이 됩니다.