판매용 중고 HIRATA AR-W150CL-T/90-330 #9111132
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HIRATA AR-W150CL-T/90-330은 반도체 웨이퍼 제조에 대한 정확한 자동 이동을 제공하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 고급 선형 모터 동작 (Linear Motor Actuation) 장비를 활용하여 와퍼가 정밀한 정렬 및 속도로 표적에 일관되게 배치되도록 합니다. 이 시스템에는 고유한 웨이퍼 (wafer) 구성 및 프로세스 설정을 위한 사용자 정의 가능한 소프트웨어가 포함되어 있으므로 특정 제조 프로세스에 적합한 조건을 쉽게 정의할 수 있습니다. HIRTA AR-W150CL-T/90-330의 최소 웨이퍼 크기는 90mm, 최대 웨이퍼 크기는 330mm입니다. 최대 그리퍼 대 그리퍼 속도는 1.2m/s이며 최대 공급 속도는 0.5m/s입니다. 또한 가속도는 1.5G, 반복성은 0.01mm입니다. HIRATA AR-W150CL-T/90-330은 밀봉 된 설계를 사용하여 내부 구성 요소를 먼지와 손상으로부터 보호합니다. 이 설계는 장치의 수명을 연장하고, 작업의 정확성을 유지하는 데 도움이 됩니다. 이 기계는 또한 특수 발열기 (heat dissipation technology) 를 사용하여 모터를 포함한 모든 부품을 작동 중에 냉각시킵니다. HIRATA AR-W150CL-T/90-330에는 직관적인 사용자 인터페이스가 장착되어 있어 웨이퍼 처리 도구를 쉽고 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한 개별 축 매개변수, On-the-fly parameter changes, 나중에 사용할 수 있도록 여러 매개 변수를 저장할 수 있는 기능 등, 특정 프로세스에 따라 에셋을 구성할 수 있습니다. 이 모델은 또한 고급 광학 모니터링 장비 (Optical Monitoring Equipment) 를 통해 슬립 또는 중지 상태를 실시간으로 감지합니다. 또한 이 모니터링 시스템 (monitoring system) 을 사용하여 진단 테스트를 수행하여 장치가 최적으로 실행되는지 확인할 수 있습니다. 이 기계는 또한 최신 산업 안전 표준 (industrial safety standard) 을 준수하며 다양한 산업 자동화 시스템에 통합 될 수 있습니다. 결론적으로, HIRATA AR-W150CL-T/90-330은 반도체 웨이퍼 제조에 필요한 정밀성과 신뢰성을 제공하도록 설계된 고급형 웨이퍼 핸들러입니다. 사용자 친화적인 인터페이스 및 모니터링 기능으로 인해 모든 반도체 제조 공정에 완벽한 선택이 가능합니다.
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