판매용 중고 HINE DESIGN / ASYST HA-4.3 Series #9091666
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ID: 9091666
Robots
Model No. 04300-056
(3) Wet robots, (1) Dry robot with scanner
External 24VDC supply: not included
Teach pendant
Software version 5.3E
Operational software of floppy disk
Includes user and software manuals.
ASYST HA-4.3 시리즈는 고급 반도체 장치의 생산을 최적화하기 위해 설계된 전용 웨이퍼 처리 도구입니다. HA-4.3 시리즈는 반도체 제작 설비에 적합한 HA-4.3 시리즈 (HA-4.3 시리즈) 는 강력한 엔지니어링 설계와 견고한 구성 요소를 활용하여 높은 처리량과 일관된 결과를 보장합니다. HA-4.3 시리즈는 최첨단 웨이퍼 전송 시스템을 사용하여 반복 가능한 결과로 복잡한 형상을 성공적으로 탐색합니다. 동적 프로세스 지원을 통해 사용자는 시스템을 새로운 웨이퍼 (Wafer) 크기와 유형에 맞게 손쉽게 조정하여 유연성을 극대화할 수 있습니다. 탁월한 처리량을 제공하는 HA-4.3 시리즈는 최대 4 개의 웨이퍼 스테이지를 수용할 수 있으며, 초당 최대 10 개의 웨이퍼 속도를 제공합니다. 특히, HA-4.3 시리즈는 운송 중 웨이퍼를 깔끔하게 고정하기 위해 통합 웨이퍼 홀더 (wafer holder) 를 갖추고 있어 오염으로부터 보호됩니다. 홀더는 다양한 웨이퍼 유형 및 크기에 대한 웨이퍼-카세트 (wafer-cassette) 및 웨이퍼-보트 구조와의 호환성을 위해 설계되었습니다. 또한 정확한 wafer 수준 및 대량 수준 등록 검사를 통해 디바이스 성능을 보장합니다. HA-4.3 시리즈는 사용 및 유지 관리가 간편하며, 사용자 친화적인 인터페이스, 간편한 프로그래밍, 손쉽게 교체할 수 있는 부품 등을 갖추고 있습니다. 고급 동작 제어 시스템은 웨이퍼 (wafer) 이동을 정확하게 제어하는 한편, 광범위한 보안 기능은 데이터 무결성을 보호합니다. 이 시리즈는 또한 자동 로드 포트 전송, 타겟 트랙 관리, 자동 디바이스 모니터링 기능을 지원하므로, 고급 반도체 생산을 위한 최고의 솔루션입니다. 내구성을 위해 설계된 HA-4.3 시리즈는 탁월한 안정성과 성능을 제공하므로, 생산성을 극대화하고 다운타임을 최소화할 수 있는 기업을 위한 최적의 솔루션입니다 (영문). 또한 HA-4.3 시리즈는 포괄적인 무상수리 기간 (무상수리 기간) 에 적용되며, 이를 통해 사용자가 투자를 최대한 활용할 수 있습니다. HA-4.3 시리즈 (HA-4.3 Series) 는 고급 반도체 생산에 이상적인 도구입니다.
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