판매용 중고 H-SQUARE Wafer transfer system #293667197
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H-SQUARE 웨이퍼 전송 장비 (H-SQUARE Wafer transfer equipment) 는 프로세싱 시스템 간에 반도체 웨이퍼를 안전하고 효율적으로 마운트, 인덱스 및 전송하는 자동 웨이퍼 처리 시스템입니다. H-SQUARE는 자체와 드라이브 메커니즘 사이에 "에어 박스" 또는 "에어 포켓" 을 만드는 공기 베어링 기반 멀티 트랙 웨이퍼 전송 장치로 구성됩니다. 이 공기 포켓은 웨이퍼 (wafer) 와 전송 기계 (transfer machine) 사이에 기계적이지 않은 접촉을 가능하게하여 동작 중에 입자가 웨이퍼 및/또는 전송 도구에 부착되지 않도록 합니다. 전송 에셋에는 로드 포트 (load port) 가 포함되어 있습니다. 로드 포트는 하나의 모델에서 다음 모델로 웨이퍼를 전송하는 데 사용됩니다. 통합 로드 핸들러 (integrated load handler) 가 있으며, 카세트에서 로드 포트로 자동으로 웨이퍼를 전송하도록 사전 프로그래밍할 수 있습니다. "핸들러 '는 그 들 이 적재 한" 웨이퍼' 와 "카세트 '를 모두 손상 시키지 않도록 설계 되었다. H-SQUARE 는 사용이 간편한 GUI 기반 소프트웨어 장비로 관리되며, 이를 통해 엔지니어는 특정 요구 사항에 맞게 시스템을 빠르고 쉽게 구성할 수 있습니다. 모든 사용자 명령은 H-SQUARE (H-SQUARE) 장치에 디지털로 입력되므로 시스템이 항상 올바르게 작동합니다. H-SQUARE 전송 도구 (H-SQUARE transfer tool) 에는 센서 자산도 있습니다. 센서 자산은 모델의 성능을 모니터링하고 오류를 진단하는 데 도움이 되므로 작업이 문제 없이 계속됩니다. 이 장비에는 통합 경보 시스템 (Integrated Alarm System) 도 있으며, 문제가 발생하면 운영자에게 경보를 보냅니다. H-SQUARE는 웨이퍼 (wafer) 및 전송 작업을 완벽하게 추적할 수 있도록 설계되었습니다. 이 장치에는 전송 웨이퍼 (transfer wafer) 뿐만 아니라 속도, 인덱싱 정확도, 위치, 기타 시스템 성능 매개변수 등 전송 작업에 관한 데이터를 저장할 수 있는 완전한 기능이 있습니다. 이 정보를 사용하여 H-SQUARE 웨이퍼 (H-SQUARE Wafer) 전송 도구의 성능을 추적, 분석할 수 있으며, 엔지니어와 운영자가 가지고 있는 문제를 파악하고 수정할 수 있습니다. Wafer 전송 자산은 반도체 웨이퍼 처리 작업에 이상적인 솔루션으로, 고속, 정확성, 안정적인 웨이퍼 처리 기능이 필요합니다. 첨단 엔지니어링 및 혁신적인 설계 덕분에 H-SQUARE 전송 모델은 웨이퍼를 빠르고 정확하게 이동, 처리합니다. 이렇게 함으로써, 이 장비는 최고의 품질을 보장하면서 운영 효율을 유지하고 비용 효율성을 유지하도록 돕습니다 (영문).
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