판매용 중고 GTA GU 2001 #9242489
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ID: 9242489
빈티지: 2006
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PLC Controller
X, Z Axis servo & step motor
Touch UI damaged
2006 vintage.
GTA GU 2001은 Gasonics Automation이 디자인 한 웨이퍼 핸들러입니다. 광범위한 반도체 장비를 위한 효율적이고 안정적인 웨이퍼 (wafer) 생산성을 제공하도록 설계된 중형 장치입니다. 이 장치는 로봇 암, 웨이퍼 척 (wafer chuck) 및 웨이퍼 처리 구성 요소의 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 로봇 암 (robotic arm) 은 기계의 주요 특징입니다. 로딩, 정렬 및 전송 프로세스 사이에서 웨이퍼를 전송하는 책임이 있습니다. "웨이퍼 '를 처리 하기 전 에 정밀 하게 배치 하고 정렬 하는 데 사용 된다. 웨이퍼 척 (wafer chuck) 은 두 번째 구성 요소이며, 웨이퍼에 안전하고 일관된 그립을 제공합니다. "웨이퍼 (wafer-handling) '공정 도중에 정확한 위치에서 웨이퍼를 안전하게 보관할 수 있는 진공이 갖추어져 있다. 세 번째 컴포넌트는 프로세스 챔버, 웨이퍼 캐리어 및 기타 컴포넌트를 포함하는 웨이퍼 처리 컴포넌트 (wafer processing component) 입니다. 공정 챔버 (process chamber) 는 최고 품질의 웨이퍼 수율을 생성하도록 설계된 고급 시스템이있는 밀폐된 공간입니다. 그 들 은 "웨이퍼 '를 사용 하는 특정 한 과정 에 필요 한 정확 한 온도 와 화학 물질 에 넣도록 설계 되었다. 웨이퍼 캐리어 (wafer carriers) 는 가공되면 용광로에서 웨이퍼를 멀리합니다. 추가 컴포넌트 에는 입자 "필터 '가 포함 되는데, 이" 필터' 는 가공 하기 전 에 "웨이퍼 '에 있을 수 있는 입자 들 과 가장 정확 한 결과 를 얻기 위하여 모든" 웨이퍼' 가 공정 "챔버 '에 알맞게 맞춰져 있는 정렬" 시스템' 을 포함 시킨다. 전체적으로, GU 2001 (GU 2001) 은 모든 유형의 반도체 장비에 대해 완벽하게 처리 된 웨이퍼의 높은 수율을 보장하도록 설계된 고도의 웨이퍼 핸들러입니다. 강력한 설계는 프로세스 전반에 걸쳐 정확성과 신뢰성을 보장하며, 이는 반도체 생산 설비에 큰 가치를 부여합니다.
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