판매용 중고 GL AUTOMATION IDScope #9124331

GL AUTOMATION IDScope
ID: 9124331
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2004
Wafer Scribe Readers, 8" Operating version: Windows XP Cassette port: (1) Port Wafer cassette: KM-803S-H SMIF Interface: No Option ionizer: Yes 2004 vintage.
GL AUTOMATION IDScope (GL 자동화 IDScope) 는 수작업을 최소화하고 최고 수준의 효율성을 보장하도록 설계된 완전 자동화된 웨이퍼 핸들러입니다. 스퍼터링, 에칭, 얇음과 같은 웨이퍼 레벨 제작 프로세스에 이상적입니다. IDScope의 주요 메커니즘은 특수 자기 그리퍼 (magnetic gripper) 와 정렬 장비를 갖춘 로봇 암으로, 정확하게 포착, 처리 및 위치 웨이퍼를 제공합니다. 암 (arm) 은 웨이퍼 크기, 방향, 위치를 조작하여 다양한 프로세스에 맞출 수 있습니다. 또한, 이 메커니즘에는 라이트 가이드 (Light Guide) 와 카메라 조합을 사용하여 웨이퍼 결함을 찾아서 평가하는 비전 (Vision) 시스템이 장착되어 있습니다. 이 도구에는 자동 카세트 장착 또는 마운트를 해제 할 수있는 웨이퍼 카세트 장치 (표준 및/또는 확장) 도 포함되어 있습니다. 즉, "와퍼 '들 이" 카세트' 로부터 직접 "카세트 '로 들어오거나" 컴퓨터' 로부터 언로드 된다. GL AUTOMATION IDScope는 한 번에 최대 12 개의 8 "웨이퍼 또는 6 개의 12" 웨이퍼를 처리 할 수 있으며 구성에 따라 순차적, 랜덤 또는 반 랜덤 카세트 액세스를 제공 할 수 있습니다. 또한 스토리지 및 구성 영역에서 웨이퍼를 로드/언로드할 수 있습니다. 최적의 결과를 얻기 위해 IDScope는 자동 웨이퍼 정렬 시스템으로 구축됩니다. 이러한 시스템은 웨이퍼를 공구에 정확하게 배치하고, 잘못된 정렬 (misalignment) 관련 오류를 줄여줍니다. 그 들 은 "웨이퍼 '모양, 크기, 윤곽선 의 차이 를 감지 하고" 로봇' 팔 의 차이 를 측정 함 으로써 일 한다. GL AUTOMATION IDScope (GL AUTOMATION IDScope) 는 웨이퍼 정렬 및 기준점을 지속적으로 업데이트함으로써 제조 프로세스 (fabrication process) 의 각 단계와 모든 단계에 대해 웨이퍼를 정확하게 정렬하여 운영자 시간과 오류를 최소화할 수 있습니다. 자산에는 운영자와 장비를 모두 보호하는 안전 기능도 있습니다. 예를 들어, 예기치 않은 전원 중단 (Power Interruption) 이 발생할 때마다 모델을 비상용 연동 도어로 초기화할 수 있습니다. 또한, 돌이킬 수없는 웨이퍼 오해를 막기 위해 장비에는 "all-or-nothing" 파악 및 포지셔닝 시스템이 있습니다. "웨이퍼 '의 모든 특성 이 적절 히 정렬 되기 전 까지는" 웨이퍼' 를 장치 에 넣지 않는다. 전체적으로, IDScope는 정확성과 안전을 모두 보장하는 훌륭한 웨이퍼 처리 도구입니다. 자동화된 설계를 통해 "웨이퍼 (wafer) '를 수동으로 처리하는 데 소요되는 시간이 줄어들고 오류 위험이 줄어듭니다. GL AUTOMATION IDScope는 로봇 암, 정렬 기계, 웨이퍼 카세트 및 안전 기능을 활용하여 제조 효율성을 크게 향상시킵니다.
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