판매용 중고 GENMARK X5062 #9153695

GENMARK X5062는 반도체 생산을 위해 설계된 초고속 웨이퍼 핸들러입니다. 정밀하고 효율적인 방식으로 다양한 크기의 웨이퍼를 이동, 검사, 추진할 수 있습니다. 정확하고 신뢰할 수있는 처리 시스템은 초고정밀도 서브 -100äm 반도체 작동과 관련된 응용 분야에 적합합니다. X5062는 2 개의 고정밀 선형 액추에이터가 장착 된 범용 마운트 기본 장치로 구성됩니다. 각 액츄에이터에는 이동 가능한 플랫폼이 있으며, 이 플랫폼에는 정밀 전자 서보 모터에 의해 동작 범위가 제어됩니다. V 자형, 정적 웨이퍼 핸들러는 강성 및 탄성 웨이퍼로 작동 할 수 있습니다. 이 장치는 수직 벨트 (vertical belt) 에서 매달리거나 선형 경로를 따라 진동하여 정확도를 높일 수도 있습니다. GENMARK X5062는 다양한 기능을 제공하여 전반적인 효율성을 향상시킵니다. 하이브리드 모션 제어 시스템을 사용합니다. 직접 구동 모터와 스테퍼 모터의 조합으로 구성됩니다. 따라서 웨이퍼 처리 작업을 수행하는 동안 최고 속도와 정확도가 보장됩니다. 또한, 핸들러에는 초음속 정밀 포지셔닝을 위해 XYZ 자동 스케일 인 기능이 장착되어 있습니다. 이를 통해 X5062는 몇 초 내에 기울기 또는 편차를 정확하게 감지하고 조정할 수 있습니다. 정확한 전송을 위해 GENMARK X5062를 다양한 웨이퍼 감지 장치와 연결할 수 있습니다. 자동 웨이퍼 추적기 (Automatic Wafer Tracker) 는 데이터를 전송하는 동안 웨이퍼 마커를 검색하고 오류를 감지하면 동작을 중지합니다. 마찬가지로, 로드 감지 클러치 (load-sensing clutch) 는 장치가 전송 작업 전에 자동으로 웨이퍼가 있음을 감지합니다. 사용자에게 친숙한 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 사용자는 X5062의 기능을 쉽게 프로그래밍하고 제어할 수 있습니다. GUI는 연산자에게 직관적인 명령 및 기타 매개변수 설정 옵션 (연결된 PC에서 직접) 을 제공합니다. GENMARK X5062는 반도체 생산을 위해 빠르고, 안정적이며, 정확한 웨이퍼 처리 솔루션을 제공합니다. 첨단 모션 제어 및 웨이퍼 감지 기술을 갖춘 X5062는 초소형, 초소형 웨이퍼의 정확한 전송 및 처리를 보장합니다. 초고정밀도 반도체 작동을 위한 완벽한 솔루션입니다.