판매용 중고 GENMARK GPR Series #9409854

GENMARK GPR 시리즈 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 대규모 플랫 웨이퍼 처리 응용 프로그램을 처리 및 전송하는 정교한 방법을 제공하고 발전시키기 위해 설계되었습니다. 고급 노드 크기 (size device) 에서 웨이퍼 처리를 위한 자동화된 고성능 솔루션을 제공하기 위한 것입니다. 핸들러는 8 인치 (200mm) 및 12 인치 (300mm) 웨이퍼의 다양한 크기와 표준을 사용할 수 있으며 사이클 당 25mm (두께) 의 여러 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 또한, 고속, 뛰어난 성능, 뛰어난 스테퍼 제어는 웨이퍼 처리 및 전송을 위한 정확한 제어 및 위치를 보장합니다. 핸들러는 GENMARK 고성능 프로파일 컨트롤러 및 초고속 X/Y 모션 제어 기능과 통합됩니다. 이를 통해 멀티축 이동 및 전송을 위해 효과적이고 효율적으로 웨이퍼를 배치할 수 있습니다. 공정 계획 (Process Plan) 에서 정확한 측정을 수집하고 보고함으로써 완벽한 신호 무결성 (Signal Integrity) 및 추적성을 보장합니다. 또한 매우 깨끗한 객실에서 사용하도록 설계되었습니다. 팔은 고품질 정적 (anti-static) 및 소모제 (anti-consumption material) 로 구성된 입자를 제거하도록 설계 및 코팅됩니다. 고급형, 정밀 웨이퍼 (wafer) 처리 부문에 필요한 요구사항을 충족시킴으로써, 철저한 내결함성과 탁월한 오염 제어 (contamination control) 의 요구 사항을 충족할 수 있습니다. GPR 시리즈 웨이퍼 핸들러는 매우 복잡한 구조를 처리하고 처리하도록 설계되었습니다. 얇은 웨이퍼, 양면 프로세스, 멀티 프레임을 한 프로세스 주기로 처리할 수 있습니다. 또한 복잡한 통신 인터페이스 (Communication Interface) 를 통해 디바이스 간 안전한 데이터 교환을 지원합니다. 또한, 웨이퍼 핸들러는 자동으로 웨이퍼 크기를 감지하고, 추적 가능성을 위해 웨이퍼를 추적하고, 입자를 제거하여 전송 정확도를 향상시킬 수 있습니다. 이 처리기는 또한 포지셔닝에 대한 직관적인 기준 기반 교육을 특징으로하며, 운영자가 프로그램을 손쉽게 생성, 관리, 전송할 수 있도록 합니다. 전체적으로 GENMARK GPR 시리즈 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 대규모 플랫 웨이퍼 처리 응용 프로그램을 처리 및 전송하기위한 고급 솔루션입니다. 정교한 기능, 고성능 프로파일 컨트롤러 (Profile Controller), 엄격한 내결함성, 탁월한 오염 제어 기능을 통해 매우 복잡한 구조의 뛰어난 웨이퍼 처리 및 처리를 지원합니다.