판매용 중고 GENMARK Gencobot 4/3L #293746532
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GENMARK Gencobot 4/3L 은 다운타임이 최소화되고 프로세스 효율이 극대화되도록 설계된 고속, 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 이 로봇 장비는 다중 축 (multi-axis) 설계를 통해 웨이퍼를 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 의 내부 작업 공간에서 다양한 위치로 이동할 수 있습니다. 로봇은 정밀도로 6 인치 및 8 인치 웨이퍼를 모두 처리 할 수 있습니다. Gencobot 4/3L (Gencobot 4/3L) 은 효율성을 극대화하는 기능을 지원하기 위해 다양한 기능을 제공합니다. Gencobot 4/3L에는 2 스테이션 구성이 있습니다. 한 스테이션 (Station) 은 웨이퍼 입력 및 방향을 지정하고, 다른 스테이션은 처리된 웨이퍼 출력에 사용됩니다. 웨이퍼는 로봇 암 (robotic arms), 진공 컵 암 (vacuum cup arm), 셔틀 헤드 (shuttle head) 및 틸트 헤드 (tilt head) 와 같은 일련의 특수 자동 조작기에 의해 처리되며, 웨이퍼는 웨이퍼 핸들러의 원하는 위치로 정확하게 전달됩니다. 그런 다음, "웨이퍼 '를 집어 올려 가열 된" 척' 위 에 놓고 "로봇 '의" 메인프레임 컴퓨터' 에 연결 시킨다. 그런 다음, 척 (chuck) 은 웨이퍼를 원하는 방향으로 회전시켜 에칭, 클리닝, 테스트 등의 프로세스를 수행할 수 있습니다. 이들이 완료되면, 웨이퍼는 다시 가열된 척 (chuck) 에 배치되고 출력 스테이션 (output station) 으로 돌아가 언로드할 수 있습니다. 또한 Gencobot 4/3L (overheating, misalignments 또는 collisions) 과 같은 가능한 위험을 감지할 수있는 여러 센서가 장착 된 내장 안전 시스템이 있습니다. 이것은 로봇이 손상이나 기계적 재해를 피할 수 있도록 도와줍니다. 또한, 이 장치에는 웨이퍼의 적절한 로드 및 언로드를 보장하고, 오염이나 오해를 방지하는 전용 보안 시스템 (security system) 도 있습니다. Gencobot 4/3L (Gencobot 4/3L) 은 웨이퍼를위한 안정적이고 효율적인 로봇 취급 기계를 찾는 사람들에게 훌륭한 선택입니다. 다축 설계는 정확한 움직임과 정확하게 처리 된 웨이퍼 (wafer) 를 허용하는 반면, 안전 시스템은 사고 또는 과실을 예방하는 데 도움이됩니다. 또한 간편한 설치, 설치 및 통합을 통해 원활한 운영을 보장할 수 있습니다. Gencobot 4/3L (Gencobot 4/3L) 은 안정적이고 효율적인 웨이퍼 처리 도구를 찾는 사람들에게 적합한 옵션입니다.
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