판매용 중고 GENMARK GB7 #9153705

GENMARK GB7
제조사
GENMARK
모델
GB7
ID: 9153705
Robots P/N: 400397007 965925 5007784/5064340 400397009 4007-970-93.
GENMARK GB7은 생산 과정에서 반도체 웨이퍼를 관리하고 운송하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장치는 최대 300mm 직경의 웨이퍼로 웨이퍼 제작 및 테스트 응용 프로그램에 사용하도록 설계되었습니다. 이 장치는 최대 22 킬로그램 무게의 뜨겁고 차가운 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. GENMARK GB 7은 사이클 시간을 줄이고 처리량 및 생산 효율성을 향상시키는 수직 운송 장비를 갖춘 고속, 4 축 카티시안 로봇 암 (Cartosian Robotic Arm) 을 특징으로합니다. 이 장치는 총 스트로크 250 x 400 x 250 mm, 반복 속도 0.2 mm, 속도 최대 30 mm/sec로 정확한 웨이퍼 이동이 가능합니다. 팔은 CCD 카메라를 사용하여 웨이퍼 가장자리를 감지합니다. 그리고 적외선 추적 (infrared tracking) 기술은 팔을 원점과 웨이퍼 (wafer) 전송 중에 정확하게 배치합니다. 전송 당 최대 50 개의 웨이퍼를 선택하여 배치 할 수 있습니다. GB7에는 고유 한 이중 "C" 기계식 드라이브가 포함되어 있습니다. 이 드라이브는 뛰어난 웨이퍼 전송 안정성을 제공하며, 작동 중 회전 속도를 줄이고, 소음 오염을 줄입니다. 진공 대피를위한 500mm 스트로크 이온 임플란터 암이 포함되어 있습니다. 팔은 초속 25mm의 빠른 속도로 500mm의 전체 스트로크에 도달합니다. GB 7의 추가 기능에는 통합 파편 방지 시스템, 직관적 인 사용자 인터페이스, 웨이퍼 로딩/언로딩을위한 공압 흡입 장치, 웨이퍼 스토퍼 기능이 포함됩니다. 사용자 인터페이스를 사용하면 최적의 성능을 위해 매개변수를 설정하고, 미리 설정된 레시피를 선택할 수 있습니다. 또한 필요한 경우 확장 레시피 정의를 구현할 수 있습니다. 통합 파편 관리 기계 는 먼지, 흙, 기타 외국 입자 들 로 인한 "웨이퍼 '의 오염 을 방지 하기 위해 설계 되었다. 공압 흡입 도구 (Pneumatic Suction Tool) 는 단단한 공간 내에서 웨이퍼를 파악하고 이동하는 데 사용되며, 웨이퍼 스토퍼는 이동하는 동안 웨이퍼가 과도하게 움직이는 것을 방지합니다. GENMARK GB7 (GENMARK GB7) 은 컴팩트하고 안정적인 웨이퍼 핸들러로, 반도체 웨이퍼 생산을 관리하는 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 정확한 이동은 사이클 시간을 손상시키지 않고 최적의 정확성을 허용합니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 와 다양한 추가 기능 (Plethora of Additional Features) 을 통해 이 장치는 모든 하이엔드 웨이퍼 운영 또는 테스트 애플리케이션의 요구를 충족할 수 있습니다.
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