판매용 중고 GENMARK GB4 #154136

제조사
GENMARK
모델
GB4
ID: 154136
웨이퍼 크기: 12"
Standard robot, 12" With controller Configured for ASM A412 12" tool Arm configuration: 5.25" to 5.25" Box included.
GENMARK GB4는 고품질 제품 생산을 향상시키는 반도체 웨이퍼 제조 공정의 웨이퍼 핸들러입니다. 고급 로봇 기술을 활용하여 반도체 웨이퍼를 안전하고 정확하게 이동하고 배치합니다. GB4 핸들러 (handler) 는 한 번에 최대 4 개의 웨이퍼를 저장하고, 삽입 시 웨이퍼의 존재를 자동으로 감지할 수 있습니다. 그런 다음이 웨이퍼는 등록되어 핸들러 스와퍼 클램프 (handler 'swafer clamp) 에 정확하게 배치되어 프로세스를 시작할 준비가되었습니다. GENMARK GB4 는 독자적인 원격 컴퓨터, Multi-Axis 컨트롤러, Maintenance Console 을 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 시스템을 손쉽게 관리하고 모니터링할 수 있습니다. 원격 컴퓨터에는 통합 제어 장비 (Integrated Control Equipment), 모션 프로세서 (Motion Processor) 및 상태 모니터 (Status Monitor) 가 포함되어 있어 웨이퍼 로드 및 언로드에 대한 제어가 향상되었습니다. GB4는 웨이퍼 클램핑 (wafer clamping) 을위한 전동 서보 포지셔너를 갖추고 있으며, 클램프 메커니즘에 웨이퍼를 정확하게 배치 할 수 있습니다. "핸들러 '는 또한 장비 와 운전자 의 안전 을 보장 하기 위하여" 센서' 와 경비원 들 로 된 안전 "시스템 '을 갖추고 있다. GENMARK GB4 는 이중 로드/언로드 메커니즘을 사용하며, 이를 통해 웨이퍼 로드 및 언로드를 동시에 수행할 수 있습니다. 이 기능은 새 wafer 를 삽입할 때 이미 로드된 wafer 를 제거할 필요가 없습니다. GB4 핸들러 (GB4 Handler) 는 고성능 진공 장치 (Vacuum Unit) 로 설계되어 신속한 풀다운 시간과 신속하게, 정확하게, 안전하게 웨이퍼를 로드하고 언로드할 수 있는 기능을 제공합니다. 또한, 핸들러는 330mm 최대 직경 웨이퍼 용량으로 작고 큰 웨이퍼를 모두 처리 할 수 있습니다. 무접촉 스윙 암 (swing arm) 메커니즘은 저력 웨이퍼 조작을 제공하기 위해 필요한 유연성을 제공하여 웨이퍼를 손상 없이 처리합니다. 기계 를 사용 하면 "웨이퍼 '의 가장자리 에 닿지 않고" 웨이퍼' 를 정확 하고 정확 하게 오른쪽 위치 에 놓을 수 있다. 또한 GENMARK GB4 핸들러에는 고속 드라이브를 갖춘 서브 마이크로 컨트롤러 (sub-micro controller) 가 포함되어 있어, 높은 정확도를 유지하면서 로드 및 언로드 프로세스 동안 무기를 신속하게 이동하는 데 필요한 토크와 가속을 제공합니다. GB4 핸들러 (user interface on GB4 handler) 는 사용하기 쉽도록 설계되었으며, 컴퓨터의 다양한 기능과 설정에 대한 자세한 정보를 운영자에게 제공합니다. 또한 wafer 방향 (wafer orientation), 고급 진단 도구 (advanced diagnostic tools) 등의 고급 기능을 사용하여 공구 작동 및 성능 통계를 쉽게 액세스할 수 있습니다. GENMARK GB4 핸들러는 다양한 반도체 제조 공정에서 안정적이고 비용 효율적인 웨이퍼 (wafer) 처리 기능을 제공하여 고품질 제품을 생산할 수 있도록 설계되었습니다.
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