판매용 중고 GENMARK GB3 #9110982
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GENMARK GB3은 여러 유형의 웨이퍼를 전송, 확인, 정렬하는 데 사용되는 고성능 차세대 웨이퍼 핸들러입니다. 반도체 업계에서 높은 생산성과 효율성 (efficient process) 을 제공하는 최신 자동화 기술로 설계됐다. GB3 는 견고한 구성요소로 만들어졌으며, 가장 까다로운 산업 환경에서 검증되었으며, 이를 통해 웨이퍼 (wafer) 처리를 장기간 정밀하게 처리할 수 있습니다. 또한 자가 진단 (Self Diagnostics) 기능이 포함되어 있어 장비의 잠재적 결함을 감지할 수 있습니다. 이 고급 진단 시스템은 원활한 작동을 보장하며, 장비의 수명을 연장합니다. 이 장치의 웨이퍼 정렬 용량은 최대 8,500 웨이퍼/시간입니다. 다른 웨이퍼 크기를 최대 3.0 "직경까지 정렬 할 수 있습니다. 웨이퍼 펌프는 웨이퍼를 동시에 적재 및 언로드하기위한 듀얼 노즐 디자인을 특징으로합니다. 이 기능은 더 적은 웨이퍼 파손과 다운타임을 보장합니다. GENMARK GB3는 또한 고급 이미징 기술을 사용하여 불완전성에 대한 웨이퍼를 정확하게 검사하는 독특한 비전 머신 (vision machine) 을 갖추고 있습니다. 이 도구는 2 분 안에 최대 5,000 개의 웨이퍼를 감지하고 분석 할 수 있습니다. 이는 운영 속도를 높이고 오류를 줄입니다. GB3에는 다른 재료로 만든 기판을 식별하고 분리 할 수있는 기능이 있습니다. 서피스 패턴화 (surface patterning) 가 있는 경우에도 다른 재료를 인식하고 비교할 수 있습니다. "웨이퍼 '손잡이 는" 핸들러' 와 기판 사이 의 효과적 인 접촉 을 보장 하는 조정 가능 한 진공 "척 '을 가지고 있다. 이것은 작동 중 오염을 방지합니다. 마지막으로, GENMARK GB3는 손쉬운 유지 관리를 위해 제작되었으며, 청소용으로 빠르게 액세스 할 수 있습니다. 정전기 전하의 생성을 극복 할 수있는 능력이 있습니다. 갑작스런 배출로 인한 손상 방지. 이 장치에는 유지보수 모니터링 자산 (maintenace monitoring asset) 이 장착되어 있어 직원에게 필수적인 정보를 제공합니다. 전반적으로, GB3는 반도체 산업의 웨이퍼 처리를 위한 효율적인 솔루션입니다. 포괄적이면서도 신뢰할 수 있는 자동화 프로세스를 제공하여 다운타임과 운영 오류 (operating error) 를 줄입니다.
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