판매용 중고 GENMARK 996-1098 #9153812

GENMARK 996-1098
ID: 9153812
Robot.
GENMARK 996-1098 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 다양한 크기의 웨이퍼의 로드, 언로드 및 정렬을 자동화하기 위해 설계된 소형 고성능 웨이퍼 처리 장비입니다. 확장 가능한 디자인 (Scalable Design) 이 특징이며, 광범위한 프로세스 레시피를 지원하므로 연구원과 생산에 이상적입니다. 996-1098은 최대 200mm의 웨이퍼를 처리 할 수있는 벤치 탑 웨이퍼 핸들러입니다. 고급 웨이퍼 (Wafer) 포지셔닝 시스템이 장착되어 있어 웨이퍼를 빠르고 정확하게 배치할 수 있습니다. 또한, 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 가장 까다로운 생산 환경에서도 장기적인 안정성을 보장하는 강력한 전기 기계 설계를 갖추고 있습니다. GENMARK 996-1098 은 고속 선형 모터로, 웨이퍼를 빠르고 정확하게 전송합니다. 고유한 "미니 (mini)" 웨이퍼 트레이를 사용하면 다양한 웨이퍼 크기 사이에서 빠르게 전환할 수 있으며, 테이프 프레임 (Tape Frame) 옵션을 사용하면 전송 챔버 내에서 웨이퍼를 더 쉽게 이동할 수 있습니다. 또한 자동 방향 설정 기능 (Autoorientation Capability) 을 통해 웨이퍼가 전송 챔버 (Transfer Chamber) 에 로드될 때 항상 동일한 방향을 향할 수 있습니다. 996-1098에는 가스 및 먼지 수집, 진공 인터 록 (vacuum interlock) 및 스파크가 발생하지 않는 접지 연결 (grounding connection) 을 포함한 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 또한 다양한 진단 및 프로세스 모니터링 (process monitor) 기능을 통해 운영자가 일관성 있고 높은 품질의 성능을 보장할 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 에는 사용자 친화적 인 인터페이스가 단순하여 운영자가 기계를 빠르고 쉽게 탐색하고 사용자 정의 웨이퍼 처리 레시피를 만들 수 있습니다. 이 모든 기능은 GENMARK 996-1098 Wafer Handler를 연구원 및 생산 용도로 이상적인 선택으로 만듭니다. 컴팩트한 크기와 다용도로 다양한 크기의 웨이퍼 (wafer) 를 정렬, 로드, 언로드할 수 있는 효율적인 도구입니다. 견고한 설계 및 안전 기능을 통해 신뢰할 수 있는, 수년 동안 안정적으로 작동할 수 있습니다.
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